恭喜应用材料公司陈一宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利使用高压退火的接缝弥合获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111699549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980012399.6，技术领域涉及：H01L21/768；该发明授权使用高压退火的接缝弥合是由陈一宏;程睿;P·曼纳;A·B·玛里克;江施施;巫勇;K·莱斯彻基什;S·冈迪科塔设计研发完成，并于2019-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用高压退火的接缝弥合在说明书摘要公布了：本公开的各方面包括处理基板的方法。所述方法包括将共形层沉积在包含接缝的基板上。在存在氧化剂时使用高压退火来处理所述基板。
本发明授权使用高压退火的接缝弥合在权利要求书中公布了：1.一种处理基板的方法，包括：将所述基板定位在处理腔室中，所述基板具有多个基板特征；在所述基板特征上沉积共形层，使得在相邻基板特征之间形成接缝；以及在存在氧化剂时，用在1巴到70巴的压力下执行的高压退火来处理所述基板，使得在所述共形层内的所述接缝的体积减小，其中所述处理所述基板导致设置在所述基板特征上的所述共形层与设置在所述相邻基板特征上的所述共形层化学反应，其中所述共形层包括金属层、金属氧化物层、或它们的组合。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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