恭喜应用材料公司熊健刚获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于晶片级管芯桥的方法和设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109904083B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201811493073.3,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权用于晶片级管芯桥的方法和设备是由熊健刚;A·桑达拉扬设计研发完成,并于2018-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶片级管芯桥的方法和设备在说明书摘要公布了:公开了用于晶片级管芯桥的方法和设备。将晶片级桥管芯用粘合剂层附贴到已经暂时地接合到载体的重分布层RDL。在所述RDL上和所述桥管芯上形成电互连件并将其封装在第一模层中。将多个管芯耦接到所述RDL和所述桥管芯,使得管芯电连接到所述RDL的至少一个电互连件和所述桥管芯的至少一个电互连件。在所述第一模层上形成第二模层以封装所述多个管芯。然后,破坏暂时接合并去除载体,从而暴露RDL连接。
本发明授权用于晶片级管芯桥的方法和设备在权利要求书中公布了:1.一种形成晶片级桥管芯的方法,包括:形成重分布层RDL;将桥管芯附贴在所述RDL上,所述桥管芯在与所述RDL相对的暴露表面上具有电连接;在所述RDL上形成至少一个电互连件;在所述桥管芯上形成至少一个电互连件;在所述RDL上形成至少一个穿模通孔TMV的至少一个第一部分;在所述RDL和所述桥管芯上面形成第一模层;在所述至少一个TMV的所述至少一个第一部分上形成所述至少一个TMV的至少一个第二部分;将多个管芯耦接到所述RDL并耦接到所述桥管芯,使得管芯电连接到所述RDL的至少一个电互连件并电连接到所述桥管芯的至少一个电互连件;和在所述第一模层上和在所述多个管芯上形成第二模层,所述至少一个TMV在所述第二模层的顶表面处具有电连接以用于支持封装层叠PoP电连接。
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