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龙图腾网恭喜南京伟测半导体科技有限公司申请的专利晶圆分导设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114927448B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210579725.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆分导设备是由吴庆;王刚;闻国涛;陈迎涛;高大会设计研发完成，并于2022-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆分导设备在说明书摘要公布了：本申请公开晶圆分导设备及其工作方法，所述晶圆分导设备的工作方法包括：在承载座上形成第一承载位，用以承载装有待分导晶圆的承载晶舟；承载于所述第一承载位的所述承载晶舟通过带移组件带动止移挡移动，以避让出用于分导承载于所述承载晶舟的分导臂移动的空间，其中所述止移挡被设置沿多个分导臂排列的方向延伸，所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述推导端移动路径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，其中每个所述分导臂与所述承载晶舟的第一放置槽的晶圆相对应；推动所述分导臂，进而分导出与被推动的所述分导臂相对应且位于所述承载晶舟的第一放置槽的所述晶圆。

本发明授权晶圆分导设备在权利要求书中公布了：1.晶圆分导设备，用于通过至少一分导组件的分导臂将至少一晶圆分导出承载晶舟，其中所述分导组件包括导向主体和多个间隔设置的分导臂，其中每个所述分导臂具有推导端，其中所述分导臂可平行滑动地设置在所述导向主体，所述承载晶舟具有第一入口、第一出口以及与所述第一入口和所述第一出口连通的第一存放空间，所述承载晶舟上形成所述第一存放空间的内壁上形成至少一组第一放置槽，其中所述第一放置槽沿横向延伸，且介于所述第一入口和所述第一出口之间，用以放置所述晶圆，其特征在于，所述晶圆分导设备包括：承载座，其中所述承载座形成第一承载位，用以承载所述承载晶舟，其中所述承载座形成第二承载位，用以承载接收晶舟；至少两导准机构，其中每个所述导准机构包括至少一止移挡、带移组件和至少两个限位构件，所述止移挡被设置沿多个所述分导臂排列的方向延伸，所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述推导端移动路径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，以当所述带移组件带动所述止移挡移动时，所述止移挡移离所述推导端移动路径，从而允许所述推导端越过所述止移挡的位置，而伸入所述承载晶舟的所述第一存放空间，所述带移组件包括至少一滑动块、连杆和弹性件，所述止移挡和所述滑动块分别被固定于所述连杆的两端，并且所述弹性件设置于所述滑动块和所述承载座形成的阻挡壁之间，所述滑动块可沿与所述分导臂移动的方向垂直的横向方向滑动地设置于所述承载座，其中一个所述带移组件的滑动块被设置于是多数第一承载位的边缘，其中另一个所述带移组件的滑动块被设置于所述第二承载位的边缘，其中一个所述限位构件被设置于与一个所述滑动块相对的位置，以与所述滑动块形成一个大小可调的卡口，而另一个所述限位构件被设置于与另一个所述滑动块相对的位置，以与另一个所述滑动块形成另一个大小可调的卡口。

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