买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜苏州华博电子科技有限公司申请的专利一种磁控溅射设备及磁控溅射方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119144931B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411648819.9，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射设备及磁控溅射方法是由陈洋设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控溅射设备及磁控溅射方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种磁控溅射设备及磁控溅射方法，属于材料制备加工技术领域，该磁控溅射设备包括基座、位于基座上的基材加热装置以及位于基材加热装置上的磁控溅射装置，磁控溅射装置包括从下往上依次设置的镀膜室、真空室、磁场发生装置和溅射阴极冷却装置，溅射阴极冷却装置包括冷却室、位于冷却室左端的进水管、位于冷却室右端的出水管、用于对出水管内冷却水温度进行检测的温度传感器以及用于调节冷却室内水流量的调节组件，出水管的一端与冷却室内连通，用于将冷却室内的水导入镀膜室对其进行降温，能够对循环冷却水流量进行调节，使得水与溅射阴极具有较合适的接触时间，使得装置既能起到较好的降温效果，也能够避免造成资源的浪费。

本发明授权一种磁控溅射设备及磁控溅射方法在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备，包括基座、位于基座上的基材加热装置（1）以及位于基材加热装置（1）上的磁控溅射装置（2），磁控溅射装置（2）包括从下往上依次设置的镀膜室（21）、真空室（22）、磁场发生装置（23）和溅射阴极冷却装置（24），其特征在于，溅射阴极冷却装置（24）包括冷却室（241）、位于冷却室（241）左端的进水管（242）、位于冷却室（241）右端的出水管（243）、用于对出水管（243）内冷却水温度进行检测的温度传感器以及用于调节冷却室（241）内水流量的调节组件（244），出水管（243）的一端与冷却室（241）内连通，另一端与镀膜室（21）连通，用于将冷却室（241）内的水导入镀膜室（21）对其进行降温；镀膜室（21）包括固定安装在基材加热装置（1）顶部的壳体（211）、位于壳体（211）内部的换热管（213）以及用于磁控溅射镀膜时对基材进行支撑的基材支撑组件（215），壳体（211）的前侧设有通道孔（212），基材支撑组件（215）穿过通道孔（212）进入到壳体（211）内，换热管（213）为U型管且U型管的两侧壁分别位于通道孔（212）的顶部和底部，换热管（213）用于对溅射镀膜后的基材进行冷却降温；通道孔（212）和基材支撑组件（215）均有两个，两个通道孔（212）左右对称设置，两个基材支撑组件（215）分别滑动安装在两个通道孔（212）内，基材支撑组件（215）包括承载板（2151）、位于承载板（2151）上并用于支撑基材的支架（2152）、位于支架（2152）上并用于夹紧基材的两个夹紧板（2154）以及安装在承载板（2151）一侧的连接杆（2157），支架（2152）的左右两端均设有向上延长的延伸部，两个延伸部上均安装有分别带动两个夹紧板（2154）沿左右方向运动的伸缩件，承载板（2151）顶部靠近连接杆（2157）的一端安装有沿左右方向延伸的密封板（2156），支架（2152）远离连接杆（2157）的一侧设有沿左右方向延伸的挡板（2153）；调节组件（244）包括位于冷却室（241）右端并与冷却室（241）相连通的控制箱（2441）以及位于冷却室（241）并沿上下方向滑动的调节板（2442），调节板（2442）的右侧为自上往下向右逐渐倾斜的倾斜面，控制箱（2441）沿左右方向滑动套接有调节块（2443），调节块（2443）的左侧为自下往上向左倾斜的倾斜面，调节块（2443）的倾斜面与调节板（2442）的倾斜面相互抵触，调节块（2443）的右侧与控制箱（2441）内壁之间设有伸缩杆（2444）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州华博电子科技有限公司，其通讯地址为：215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路1201号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。