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龙图腾网恭喜中机半导体材料(深圳)有限公司申请的专利应用于半导体衬底的前处理液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119060692B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411555928.6，技术领域涉及：C09K3/14；该发明授权应用于半导体衬底的前处理液及其制备方法是由魏晓龙;陈斌;刘胥冠;陈冬莉;赵庆振设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本应用于半导体衬底的前处理液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种应用于半导体衬底的前处理液及其制备方法，其中，应用于半导体衬底的前处理液包括：纳米金刚石磨料、分散剂、pH调节剂、悬浮剂以及极性溶剂，纳米金刚石磨料设有表面层，表面层包括导电性亲水涂层，按照重量百分比计算，纳米金刚石磨料占0.1~2%，分散剂占1~5%，pH调节剂占0.5~2%，悬浮剂为0.5~3%，余量为极性溶剂。纳米金刚石颗粒的导电性亲水涂层，在纳米颗粒表面形成导电性涂层，提升磨削过程中的导电性，减少静电积聚。特别是在高速精磨过程中，减少静电可以防止颗粒团聚，并提升磨削精度和稳定性。导电性亲水涂层还使颗粒具有更好的亲水性，提高其在溶液中的分散性和稳定性。

本发明授权应用于半导体衬底的前处理液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体衬底的前处理液，其特征在于，包括：纳米金刚石磨料、分散剂、pH调节剂、悬浮剂以及极性溶剂，所述纳米金刚石磨料设有表面层，所述表面层包括导电性亲水涂层和设于所述导电性亲水涂层表面的抗静电亲水涂层，按照重量百分比计算，所述纳米金刚石磨料占0.1~2%，所述分散剂占1~5%，所述pH调节剂占0.5~2%，所述悬浮剂为0.5~3%，余量为所述极性溶剂；所述前处理液的制备方法包括：S1、对纳米金刚石原料进行预处理，得到纳米金刚石磨料；步骤S1包括：S1.1、对纳米金刚石原料置于等离子体腔体内，抽真空后通入氧气并启动等离子体激发源进行活化处理；S1.2、将活化处理完成后的所述纳米金刚石原料转移到酸洗溶液中，再依次经过洗涤、过滤、干燥，得到表面改性纳米金刚石颗粒；S1.3、将所述表面改性纳米金刚石颗粒转移到导电性亲水涂层溶液中，加热搅拌后再进行沉积提拉工艺，经过干燥热固化后，得到带有导电性亲水涂层的纳米金刚石磨料；S1.4、将带有导电性亲水涂层的纳米金刚石磨料转移到耦合剂溶液中，依次经过搅拌、过滤、干燥；S1.5、再将干燥后的纳米金刚石磨料转移到静电驻极设备中，进行静电驻极工艺，驻极完成后缓慢降压和降温，得到表面带有电荷的纳米金刚石磨料；S1.6、将表面带有电荷的纳米金刚石磨料转移到抗静电亲水涂层溶液中，加热搅拌后再进行沉积提拉工艺，经过热固化后，得到带有所述表面层的纳米金刚石磨料；S2、将所述纳米金刚石磨料分次添加至含有分散剂和pH调节剂的极性溶剂中，得到混合液；S3、所述混合液中加入悬浮剂，进行超声分散，得到前处理液。

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