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龙图腾网恭喜江苏容方半导体科技有限公司;中南大学申请的专利一种晶圆衬底敲击测试方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119197965B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411346834.8，技术领域涉及：G01M7/08；该发明授权一种晶圆衬底敲击测试方法和装置是由方彦斌;郑煜设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆衬底敲击测试方法和装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆衬底敲击测试方法和装置，涉及晶圆衬底测试技术领域；用于解决现有晶圆衬底测试仅敲击测试一个点或沿晶圆衬底固定圆周上的多点，容易造成其他区域的缺陷漏检的问题，包括敲击底座、晶圆衬底承载台、多点力可控敲击单元和传感监测单元；本发明由敲击底座、晶圆衬底承载台、多点力可控敲击单元和传感监测单元构成，敲击头可独立控制且带有力传感器，敲击力度可控，同时配有破碎监测传感器和过程图像监控，检测精度高、准确，兼容多尺寸晶圆衬底。再者，该结构简单，可与半导体设备前端模块集成，无缝融入全自动晶圆衬底生产的产线中。

本发明授权一种晶圆衬底敲击测试方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆衬底敲击测试装置，包括敲击底座（1）、晶圆衬底承载台（2）、多点力可控敲击单元（3）和传感监测单元（4）；晶圆衬底（5）水平放置在晶圆衬底承载台（2）上；其特征在于，所述敲击底座（1）由基座（11）、四个支撑杆件（12）和上座（13）构成；上座（13）与基座（11）由四个支撑杆件（12）通过螺栓紧固连接，基座（11）与上座（13）之间安装有晶圆衬底承载台（2）；上座（13）上安装有一个或若干个多点力可控敲击单元（3），多点力可控敲击单元（3）由驱动单元（31）、力传感器（32）和敲击头（33）构成，敲击头（33）通过螺栓与力传感器（32）紧固，力传感器（32）通过螺栓与驱动单元（31）紧固；传感监测单元（4）由破碎监测传感器（41）和过程图像监控组件（42）构成，破碎监测传感器（41）安装在上座（13）上，且位于晶圆衬底（5）的上方；过程图像监控组件（42）通过螺栓紧固在上座（13）上；所述多点力可控敲击单元（3）和传感监测单元（4）均与控制器通信连接；控制器内设置有图像分析单元和材质输入单元；材质输入单元用于使用者输入待敲击测试晶圆衬底的材质以及材质对应的额定力度；图像分析单元用于对晶圆衬底承载台（2）上晶圆衬底（5）的图像进行分析得到执行力度，并控制敲击点位对应的多点力可控敲击单元（3）以该执行力度敲击晶圆衬底（5）；所述图像分析单元对晶圆衬底承载台（2）上晶圆衬底（5）的图像进行分析的具体过程为：将图像按照晶圆衬底（5）的敲击点位均匀分割为若干个子图，将子图进行放大若干倍形成像素图得到子像素图；识别子像素图中每个像素的灰度值，将每个像素的灰度值均与设定的灰度阈值进行比对，若像素的灰度值与灰度阈值两者不一致，则将该像素标记为异常像素，统计异常像素的数量得到子像素图的异常像素数值；对每个异常像素进行相邻的四个像素进行判定，若异常像素相邻的四个像素存在零个异常像素，则将该异常像素标记为异零像素，若异常像素相邻的四个像素存在一个异常像素，则将该异常像素标记为异一像素，若异常像素相邻的四个像素存在二个异常像素，则将该异常像素标记为异二像素，若异常像素相邻的四个像素存在三个异常像素，则将该异常像素标记为异三像素，若异常像素相邻的四个像素存在四个异常像素，则将该异常像素标记为异四像素，分别统计异零像素、异一像素、异二像素、异三像素和异四像素的数量得到异零值、异二值、异三值和异四值，代入异分模型得到子图的异分值，将所有子图的异分值进行求和得到异分总值，将异分总值按照预设力度换算系数得到力度值一；获取晶圆衬底的材质，每个材质均对应一个额定力度，将额定力度减去力度值一得到执行力度。

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