买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜沈阳乐贝真空技术有限公司申请的专利一种可移动磁场磁控靶获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222715439U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422081798.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种可移动磁场磁控靶是由王海;白海萍;王光华;王英智;李天琦;王帅设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可移动磁场磁控靶在说明书摘要公布了：一种可移动磁场磁控靶，属于磁控溅射技术领域，解决现有技术存在的靶面磁场分布不均匀，影响溅射过程稳定性，膜层厚度分布不均，靶材利用率低的问题。包括前侧设置有靶体座的平面靶连接法兰，靶体座前侧设置靶主体，靶主体上设置磁控靶材，间冷板与靶主体所构成的循环冷却通道的两端分别与靶体进出水管相连；平面靶连接法兰、靶体座和靶主体围合构成的磁铁移位调节空间内设置有磁铁固定座，磁铁固定座上设置可调磁铁，磁铁固定座后部设置的连接背板与驱动气缸的伸缩端相连。其设计合理，结构紧凑，可优化磁场分布，扩展靶材溅射区域，改变靶材溅射刻蚀特征，增加靶材的刻蚀区域，实现靶材均匀溅射，有效提升靶材利用率，实用性强。

本实用新型一种可移动磁场磁控靶在权利要求书中公布了：1.一种可移动磁场磁控靶，包括平面靶连接法兰（1），其特征在于：所述平面靶连接法兰（1）的前侧设置有靶体座（3），靶体座（3）与平面靶连接法兰（1）之间设置有平面靶绝缘法兰（2），所述靶体座（3）的前侧设置有靶主体（4），靶主体（4）上设置有磁控靶材（7），磁控靶材（7）与靶主体（4）之间设置有间冷板（6），间冷板（6）与靶主体（4）所构成的循环冷却通道的两端分别与靶体进出水管（13）相连；所述平面靶连接法兰（1）的后侧设置有导电电极板（9）；所述平面靶连接法兰（1）、靶体座（3）和靶主体（4）围合构成的磁铁移位调节空间（5）内设置有磁铁固定座（12），磁铁固定座（12）上设置有可调磁铁（15），磁铁固定座（12）的后部经由磁铁移位调节空间（5）后侧的开口、延伸到连接法兰外部，且所述磁铁固定座（12）的后部设置有连接背板（11），所述连接背板（11）通过气缸过渡板（29）与驱动气缸的伸缩端相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳乐贝真空技术有限公司，其通讯地址为：110135 辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。