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恭喜默克专利股份有限公司吴恒鹏获国家专利权

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龙图腾网恭喜默克专利股份有限公司申请的专利光致抗蚀剂去除剂组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114080571B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080050038.3,技术领域涉及:G03F7/42;该发明授权光致抗蚀剂去除剂组合物是由吴恒鹏;R·阿伦特设计研发完成,并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

光致抗蚀剂去除剂组合物在说明书摘要公布了:本发明涉及组合物,其包含磺酸和溶剂二丙二醇二甲醚[CAS登记号111109‑77‑4]III,所述磺酸选自由具有结构I的烷基苯磺酸或其水合物其中n是6至16的整数、具有结构II的磺基水杨酸或其水合物及其混合物组成的组;

本发明授权光致抗蚀剂去除剂组合物在权利要求书中公布了:1.组合物,其由磺酸和溶剂二丙二醇二甲醚(III)组成,所述磺酸是具有结构I的烷基苯磺酸或其水合物和具有结构II的磺基水杨酸或其水合物的混合物、或具有结构II的磺基水杨酸或其水合物,其中n是6至16的整数,

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人默克专利股份有限公司,其通讯地址为:德国达姆施塔特;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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