买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔申请的专利等离子体源的用于执行等离子体处理的磁体装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113366601B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980091446.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体源的用于执行等离子体处理的磁体装置是由J·维特尔设计研发完成，并于2019-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体源的用于执行等离子体处理的磁体装置在说明书摘要公布了：为了改善在衬底处的蚀刻深度和或蚀刻均匀性，提出了一种等离子体源，其具有一个或多个单独的电极或者一个或多个磁体。磁体在电极附近产生磁场，该磁场可以在后侧或者在前侧。

本发明授权等离子体源的用于执行等离子体处理的磁体装置在权利要求书中公布了：1.一种用于执行等离子体处理的真空室，所述真空室包括等离子体处理区以及等离子体源，所述等离子体处理区被室壁所包围，所述等离子体源包括：至少一个布置在所述真空室100、200、300、400中的用于阴极真空电弧蒸发的阴极110、210、220、310、320、330、450和与所述真空室100、200、300、400连接的电弧阳极；能布置在所述阴极前面的屏蔽件115、230、332、333、334；至少一个布置在所述真空室100、200、300、400中的电极30、120、120a、130、140、240、250、340、350、360、460、470，其中所述电极固定在所述真空室的壁上或至少部分地布置在室壁中，其中所述电极30、120、120a、130、140、240、250、340、350、360、460、470包括用于捕捉由所述阴极110、210、220、310、320、330、450发射的电子的工作表面461，其特征在于，所述工作表面461是用于捕捉由所述阴极110、210、220、310、320、330、450发射的电子的二维表面，而且所述二维表面具有相对于表面法线的第一正交伸展和第二正交伸展，其中所述第一正交伸展垂直于第二正交伸展，并且所述第一正交伸展与所述第二正交伸展的长度比在0.1与1之间；而且至少一个用于产生磁场的磁体301、302、480、490布置在所述真空室100、200、300、400中、布置在所述真空室上或者布置在所述真空室中并且布置在所述真空室上，所述磁场作用于所述电极30、120、120a、130、140、240、250、340、350、360、460、470的工作表面461，其中所述磁体301、302、480、490包括前侧磁体302和或后侧磁体301、480、490，其中所述前侧磁体302布置在所述工作表面461的区域内用于产生前侧磁场并且所述后侧磁体301、480、490布置在所述工作表面461后面用于产生后侧磁场。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔，其通讯地址为：瑞士普费菲孔；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。