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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利补偿室和工艺效应以改善修整工艺的关键尺寸变化获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112534561B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980051428.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权补偿室和工艺效应以改善修整工艺的关键尺寸变化是由普尔凯特·阿加瓦尔;阿德里安·拉沃伊;拉维·库马尔;普鲁肖塔姆·库马尔设计研发完成，并于2019-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本补偿室和工艺效应以改善修整工艺的关键尺寸变化在说明书摘要公布了：一种控制器包含存储器，其存储将累积值与相应的调整系数相关联的数据。所述累积值对应于在处理室内的表面上材料的累积，并且所述相应的调整系数对应于对提供至所述处理室的射频RF功率的控制参数的调整。累积计算模块被设置成计算第一累积值，所述第一累积值指出所述材料的累积量。RF功率控制模块被设置成：接收所述第一累积值；接收设定值功率和所述蚀刻步骤的持续时间中的至少一者；从所述存储器提取所存储的所述数据；基于所述第一累积值、所述设定值功率和所述蚀刻步骤的所述持续时间中的所述至少一者、以及所存储的所述数据来调整所述控制参数；以及根据所调整的所述控制参数来控制被提供至所述处理室的所述RF功率。

本发明授权补偿室和工艺效应以改善修整工艺的关键尺寸变化在权利要求书中公布了：1.一种控制器，其包含：存储器，其存储将累积值与相应的调整系数相关联的数据，其中所述累积值对应于在处理室内的表面上材料的累积，所述处理室被设置成在衬底上执行蚀刻及沉积，并且其中所述相应的调整系数对应于针对在执行图案化工艺的蚀刻步骤时提供至所述处理室的射频功率的控制参数的调整；累积计算模块，其被设置成计算第一累积值，所述第一累积值指出所述材料的累积量；以及射频功率控制模块，其被设置成：接收所述第一累积值，接收设定值功率和所述蚀刻步骤的持续时间中的至少一者，所述设定值功率将在所述蚀刻步骤期间提供，从存储器提取所存储的所述数据，基于所述第一累积值、所述设定值功率和所述蚀刻步骤的所述持续时间中的所述至少一者、以及所存储的所述数据来调整所述控制参数，以及根据所调整的所述控制参数来控制在所述蚀刻步骤期间被提供至所述处理室的所述射频功率。

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