沈阳芯源微电子设备股份有限公司关贺聲获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利晶圆搬运手指获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222801769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420893511.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆搬运手指是由关贺聲;郭生华;王一;彭博;王德全设计研发完成，并于2024-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆搬运手指在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆搬运手指，包括：手指本体和设于所述手指本体底面的伯努利吸盘，所述手指本体和所述伯努利吸盘之间形成有吸盘气室，所述伯努利吸盘上间隔地设有与所述吸盘气室连通的若干个喷气孔，若干个所述喷气孔的连线呈圆形状，所述吸盘气室与供气装置连接，所述供气装置用于向所述吸盘气室内通气，以使气体从所述喷气孔喷出。利用所述供气装置向所述吸盘气室内通气，从所述喷气孔喷出的高速流动的气体，产生伯努利效应，以使晶圆可以悬浮地吸附于所述伯努利吸盘下方，非接触式吸附避免破坏晶圆微结构，也不会造成晶圆的变形和碎片，避免污染晶圆。
本实用新型晶圆搬运手指在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运手指，其特征在于，包括：手指本体和设于所述手指本体底面的伯努利吸盘，所述手指本体和所述伯努利吸盘之间形成有吸盘气室，所述伯努利吸盘上间隔地设有与所述吸盘气室连通的若干个喷气孔，若干个所述喷气孔的连线呈圆形状，所述吸盘气室与供气装置连接，所述供气装置用于向所述吸盘气室内通气，以使气体从所述喷气孔喷出；还包括设于所述手指本体上的气体通道；还包括设于所述吸盘气室内且支撑于所述手指本体和所述伯努利吸盘之间的匀气环，所述匀气环对应所述气体通道的另一端设置，所述匀气环上沿所述匀气环的延伸方向间隔地设置有若干个导气槽。
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