吉林华微电子股份有限公司张立新获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利一种电极组件及等离子体刻蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222801738U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420844812.3，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种电极组件及等离子体刻蚀机是由张立新设计研发完成，并于2024-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电极组件及等离子体刻蚀机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种电极组件及等离子体刻蚀机，涉及等离子体电极技术领域，用于解决现有技术中电极本体的边缘区域的出气量小于中部区域的出气量，从而对芯片刻蚀不均匀的技术问题。该电极组件包括电极本体，所述电极本体包括中部区域和边缘区域；沿垂直于所述电极本体的厚度方向，所述电极本体上开有贯穿所述电极本体的多圈通气孔，所述多圈通气孔沿所述电极本体的径向排布，所述边缘区域的通气孔的直径大于所述中部区域的通气孔的直径。本申请通过将电极本体的边缘区域的通气孔的直径设置为大于中部区域的通气孔的直径，可以提高通过电极本体的气体的均匀性，进而可以提高被刻蚀的芯片的均匀性。
本实用新型一种电极组件及等离子体刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种电极组件，其特征在于，所述电极组件包括电极本体1，所述电极本体1包括中部区域和边缘区域；沿所述电极本体1的厚度方向，所述电极本体1上开有贯穿所述电极本体1的多圈通气孔11，所述多圈通气孔11沿所述电极本体1的径向排布，所述边缘区域的通气孔11的直径大于所述中部区域的通气孔11的直径。
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