上海广川科技有限公司曲泉铀获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种多层晶圆夹持调平装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222801786U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420849077.5,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种多层晶圆夹持调平装置是由曲泉铀;杨琦;刘恩龙;武一鸣;中島隆志;川辺哲也;古市昌稔;张平;周伟强;王贺明;贾豪;李家璇;焦子洋;西超博;方指东;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊;徐圳设计研发完成,并于2024-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层晶圆夹持调平装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种多层晶圆夹持调平装置,其包括:若干手指件、主框架、调平组件、夹紧单元,所述若干手指件纵向等距间隔布设在主框架两侧内壁上,使得横向同层手指件成对间隔定义出该层手指单元,其中各层手指单元的横向间隔区呈贯通状,以定义出夹紧空间,所述夹紧单元与主框架连接并设置在夹紧空间处,以经夹紧单元的夹头与各层手指单元定义出各层晶圆夹持位,其中所述调平组件设置在主框架上对应各层手指件处,且调平组件的调节部与手指件相抵。籍此以允许单次承载更多晶圆并支持多层手指调平及晶圆位置校准。
本实用新型一种多层晶圆夹持调平装置在权利要求书中公布了:1.一种多层晶圆夹持调平装置,其特征在于包括:若干手指件、主框架、调平组件、夹紧单元,所述若干手指件纵向等距间隔布设在主框架两侧内壁上,使得横向同层手指件成对间隔定义出该层手指单元,其中各层手指单元的横向间隔区呈贯通状,以定义出夹紧空间,所述夹紧单元与主框架连接并设置在夹紧空间处,以经夹紧单元的夹头与各层手指单元定义出各层晶圆夹持位,其中所述调平组件设置在主框架上对应各层手指件处,且调平组件的调节部与手指件相抵。
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