恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司肖飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利多分区真空吸盘装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222801780U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420324967.4,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型多分区真空吸盘装置是由肖飞;杨体康;梁旭;何少锋设计研发完成,并于2024-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本多分区真空吸盘装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种多分区真空吸盘装置,包括吸盘和阀门,吸盘上设有多个吸附区域;阀门为多个且阀门设于吸附区域内,阀门设置在相邻的吸附区域之间,阀门用于连通相邻的吸附区域。通过在吸盘上设有多个吸附区域,并在相邻的吸附区域之间设有阀门,以将阀门布置在吸盘内部,以让阀门对应设置在吸盘内以控制相邻的吸附区域的连通与否,以让吸盘上进行吸附的吸盘面积能够根据用户需求或者基板尺寸进行调整,以让多分区真空吸盘装置在使用过程中具有更为精确的使用性能以对应吸附基板,从而让多分区真空吸盘装置能够针对不同尺寸、不同型号的基板而对应输出更为合适的性能以进行基板的吸附固定,以提升多分区真空吸盘装置的适用性。
本实用新型多分区真空吸盘装置在权利要求书中公布了:1.一种多分区真空吸盘装置,其特征在于,包括:吸盘,所述吸盘上设有多个吸附区域;阀门,所述阀门为多个且所述阀门设于所述吸附区域内,且所述阀门设置在相邻的所述吸附区域之间,所述阀门用于连通相邻的所述吸附区域。
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