恭喜武汉新芯集成电路股份有限公司王帆获国家专利权
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龙图腾网恭喜武汉新芯集成电路股份有限公司申请的专利测试结构及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116130461B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211650831.4,技术领域涉及:H01L23/544;该发明授权测试结构及测试方法是由王帆;刘棋;钟朝枫;于鹏;潘妍宏;方明海设计研发完成,并于2022-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试结构及测试方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种测试结构及测试方法,所述测试结构包括:衬底;器件结构,形成于所述衬底上;第一保护二极管和第二保护二极管,形成于所述衬底中,所述第一保护二极管和所述第二保护二极管与所述器件结构并联,所述第一保护二极管与所述第二保护二极管的极性相反;第一金属互连结构和第二金属互连结构,所述第一金属互连结构与所述器件结构电连接,所述第二金属互连结构与所述第一保护二极管和所述第二保护二极管电连接,所述第一金属互连结构与所述第二金属互连结构之间连接有保险丝结构。本发明的技术方案在提高对器件结构的保护效果的同时,还能避免对器件结构的测试造成影响。
本发明授权测试结构及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种测试结构,其特征在于,包括:衬底;器件结构,形成于所述衬底上;第一保护二极管和第二保护二极管,形成于所述衬底中,所述第一保护二极管和所述第二保护二极管与所述器件结构并联,所述第一保护二极管与所述第二保护二极管的极性相反;第一金属互连结构和第二金属互连结构,所述第一金属互连结构与所述器件结构电连接,所述第二金属互连结构与所述第一保护二极管和所述第二保护二极管电连接,所述第一金属互连结构与所述第二金属互连结构之间连接有保险丝结构,所述保险丝结构用于在执行生产工艺之后且在执行测试之前断开。
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