买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利直写式曝光设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115509095B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211335604.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权直写式曝光设备及其控制方法是由刘国藩设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本直写式曝光设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种直写式曝光设备及直写式曝光设备的控制方法，其中，底座上设置有沿长度方向延伸且沿宽度方向排布的第一导轨和第二导轨，沿第一导轨方向依次定义第一上下板工位、第一对准工位、第一曝光工位、第二对准工位和第二上下板工位，沿第二导轨方向依次定义第三上下板工位、第三对准工位、第二曝光工位、第四对准工位和第四上下板工位；第一工件台和第二工件台均设置在第一导轨上，第三工件台和第四工件台均设置在第二导轨上，四个工件台利用驱动装置往复移动以在各自对应的工位之间切换，利用输送翻转系统对基板进行翻转以获得基板的待曝光面。该直写式曝光设备集成四个工件台，实现了在同一个曝光流程中完成基板的正面和反面曝光。

本发明授权直写式曝光设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种直写式曝光设备，其特征在于，包括：底座，所述底座上设置有沿长度方向延伸且沿宽度方向排布的第一导轨和第二导轨，沿所述第一导轨方向依次定义第一上下板工位、第一对准工位、第一曝光工位、第二对准工位和第二上下板工位，沿所述第二导轨方向依次定义第三上下板工位、第三对准工位、第二曝光工位、第四对准工位和第四上下板工位；第一工件台和第二工件台，所述第一工件台和所述第二工件台均设置在所述第一导轨上，所述第一工件台适于沿所述第一导轨往复移动以在所述第一上下板工位、所述第一对准工位和所述第一曝光工位之间切换，以及，所述第二工件台适于沿所述第一导轨往复移动以在所述第二上下板、所述第二对准工位和所述第一曝光工位之间切换；第三工件台和第四工件台，所述第三工件台和所述第四工件台均设置在所述第二导轨上，所述第三工件台适于沿所述第二导轨往复移动以在所述第三上下板工位、所述第三对准工位和所述第二曝光工位之间切换，以及，所述第四工件台适于沿所述第二导轨往复移动以在所述第四上下板工位、所述第四对准工位和所述第二曝光工位之间切换；驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述第一工件台和所述第二工件台沿所述第一导轨移动，以及，用于驱动所述第三工件台和所述第四工件台沿所述第二导轨移动；第一对准系统、第二对准系统和曝光系统，所述第一对准系统对应所述第一对准工位和所述第三对准工位设置，用于对所述第一对准工位和所述第三对准工位上的基板进行靶标对位，所述第二对准系统对应所述第二对准工位和所述第四对准工位设置，用于对所述第二对准工位和所述第四对准工位上的基板进行靶标对位，所述曝光系统对应所述第一曝光工位和所述第二曝光工位设置，用于对所述第一曝光工位和所述第二曝光工位上的基板进行曝光处理；输送翻转系统，所述输送翻转系统与所述底座连接并且位于所述底座沿宽度方向的一侧，用于将所述第一工件台或所述第三工件台上完成曝光的基板翻转至未曝光的一面，并将翻转之后的基板传输至所述第二工件台或所述第四工件台所在侧的输送工位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。