恭喜中国科学院合肥物质科学研究院孟钢获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种桥连氧化钨纳米线器件及其制备方法和用途获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114965604B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210591397.0,技术领域涉及:G01N27/12;该发明授权一种桥连氧化钨纳米线器件及其制备方法和用途是由孟钢;代甜甜;王时茂;方晓东设计研发完成,并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种桥连氧化钨纳米线器件及其制备方法和用途在说明书摘要公布了:本发明涉及电子器件技术领域,具体涉及一种桥连氧化钨WO3纳米线器件及其制备方法和用途。该桥连WO3纳米线器件包括绝缘衬底、叉指电极、及图形化生长的WO3纳米线,所述叉指电极设置在绝缘衬底的上表面,所述图形化生长的WO3纳米线生长在所述叉指电极和叉指电极所在绝缘衬底的上表面,部分所述图形化生长的WO3纳米线同所述叉指电极形成电学接触,相邻图形生长的WO3纳米线顶部随机桥连,形成稳定的导电通道。该器件通过气相输运沉积法在所述叉指电极基片原位生长制得,方法简单高效。无需外部加热器,该器件可利用高电压下产生的焦耳热实现高效自加热,在较低的功耗下,实现NO2的气敏响应及检测。
本发明授权一种桥连氧化钨纳米线器件及其制备方法和用途在权利要求书中公布了:1.一种桥连WO3纳米线器件,其特征在于,包括绝缘衬底1以及在绝缘衬底1上表面相对设置的两个呈齿状结构的叉指电极2,相对设置的叉指电极2的齿状结构相对且交错设置,形成蛇形沟道;所述叉指电极2的材质为贵金属;所述叉指电极2和叉指电极2所在绝缘衬底1的上表面设置有图形化的多个钨膜区域单元3,所述钨膜区域单元3的表面生长有多个随机取向的WO3纳米线4,相邻钨膜区域单元3的WO3纳米线4在空间中随机交叉、桥连,形成导电通道;所述桥连WO3纳米线器件的制备方法包括如下步骤:步骤1、在所述绝缘衬底上,通过光刻或者磁控溅射或者电子束蒸发或者丝网印刷,得到叉指电极;步骤2、在叉指电极以及叉指电极所在的绝缘衬底上表面上,通过光刻或者掩膜板工艺设置图形化的钨膜区域单元,然后将光刻胶或者掩膜覆盖的叉指电极衬底置于真空腔体中,在设置的钨膜区域单元上通过磁控溅射或者电子束蒸发蒸镀400-500nm钨膜,取出样品,去掉光刻胶薄膜或者掩膜板,制得图形化钨膜种子层,引导WO3纳米线仅在种子层所在的区域生长;步骤3、将步骤2带有图形化钨膜种子层的衬底放入陶瓷舟中,在陶瓷舟中衬底旁边放置0.1-2g的WO3粉末,在0.01-10Pa的真空度下,将管式炉加热至800-900℃,保温3-20小时后,得到桥连WO3纳米线器件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院合肥物质科学研究院,其通讯地址为:230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。