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龙图腾网恭喜细美事有限公司申请的专利基板传送设备和基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112687598B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011118584.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板传送设备和基板处理设备是由金秉奎;孙德铉设计研发完成，并于2020-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板传送设备和基板处理设备在说明书摘要公布了：公开了一种用于传送基板的设备。所述设备包括：传送机器人；线性导轨单元，所述线性导轨单元包括安装有所述传送机器人的可移动板和所述可移动板在其上行进的运转轴；以及颗粒扩散防止构件，所述颗粒扩散防止构件通过保持所述可移动板与所述运转轴之间的压差来防止颗粒扩散到外部。

本发明授权基板传送设备和基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板传送设备，包括：传送机器人；线性导轨单元，所述线性导轨单元包括可移动板和运转轴，在所述可移动板上安装有所述传送机器人，所述可移动板在所述运转轴上行进；以及颗粒扩散防止构件，所述颗粒扩散防止构件被构造为通过保持所述可移动板与所述运转轴之间的压差来防止颗粒扩散到外部，其中，所述颗粒扩散防止构件包括：气体供应单元，所述气体供应单元被构造为将惰性气体供应到所述可移动板与所述运转轴之间的空间中；排气端口，所述排气端口被构造为从所述运转轴的下方抽吸所述运转轴周围的空气；以及屏蔽罩构件，所述屏蔽罩构件包括下部罩和上部罩，所述下部罩和所述上部罩在所述可移动板与所述运转轴之间的所述空间中提供曲折的气体通道，以使从所述气体供应单元供应的所述惰性气体通过所述排气端口释放，其中，所述可移动板具有使所述下部罩和所述上部罩穿过的狭槽，所述狭槽包括：第一狭槽，所述第一狭槽从所述可移动板的侧表面沿水平方向形成；第二狭槽，所述第二狭槽从所述第一狭槽的端部向下形成；第三狭槽，所述第三狭槽从所述第一狭槽的与所述第二狭槽间隔开预定距离的任何位置向下形成；第四狭槽，所述第四狭槽从所述可移动板的底表面向上形成、并且位于所述第二狭槽与所述第三狭槽之间；以及轴向狭槽，所述轴向狭槽形成在所述可移动板的所述底表面上，所述运转轴插入所述轴向狭槽中。

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