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恭喜江苏晋誉达半导体股份有限公司丁桃宝获国家专利权

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龙图腾网恭喜江苏晋誉达半导体股份有限公司申请的专利一种刻蚀用圆片转移夹具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111081628B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911341850.7,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种刻蚀用圆片转移夹具是由丁桃宝;丁烨滨;景瑞强设计研发完成,并于2019-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种刻蚀用圆片转移夹具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种刻蚀用圆片转移夹具,包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环,该夹环包括若干段夹环段,每个夹环段的一端设置有弧形的插杆,另一端设置有与弧形插杆适配的插孔,所述夹环段的插杆插入另一个相邻的夹环段的插孔内,每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌,该卡舌的底部与夹环段的底部平齐,卡舌的内侧厚度由内而外逐渐增大,其中两个相邻的夹环段安装于支臂上,所述支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构。该转移夹具可以很好的夹持圆片,避免转移过程中圆片松动,同时也可以无需再使用顶针顶升,可靠性更高。

本发明授权一种刻蚀用圆片转移夹具在权利要求书中公布了:1.一种刻蚀用圆片转移夹具,其特征在于:包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环,该夹环包括若干段夹环段,每个夹环段的一端设置有弧形的插杆,另一端设置有与弧形插杆适配的插孔,所述夹环段的插杆插入另一个相邻的夹环段的插孔内,每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌,该卡舌的底部与夹环段的底部平齐,卡舌的内侧厚度由内而外逐渐增大,其中两个相邻的夹环段安装于支臂上,所述支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构,所述开合机构包括套装于每个插杆上的压缩弹簧,各夹环段的外周安装有牵引钢丝,所述支臂上安装有驱动牵引钢丝收卷或放卷的收放卷动力装置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏晋誉达半导体股份有限公司,其通讯地址为:215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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