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恭喜朗姆研究公司伊维利奥·塞维利亚诺获国家专利权

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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利使用识别符将边缘环零件号映射至槽号获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112640083B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980056327.1,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权使用识别符将边缘环零件号映射至槽号是由伊维利奥·塞维利亚诺;托马斯·张;罗伯特·奥唐纳;朗达·罗普斯;彼得·R·瓦塞;布丽奇特·希尔设计研发完成,并于2019-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。

使用识别符将边缘环零件号映射至槽号在说明书摘要公布了:追踪边缘环的方法和系统包含从与边缘环相关的源捕获边缘环识别符。将该边缘环插入至边缘环载具的槽中,其中该边缘环被分配给该边缘环载具。追踪该边缘环识别符,以确定进出该边缘环载具以及进出处理站的传送。对该边缘环识别符的追踪建立提供关于该边缘环的寿命信息的元数据文件。

本发明授权使用识别符将边缘环零件号映射至槽号在权利要求书中公布了:1.一种用于追踪边缘环的方法,其包含:从与所述边缘环相关的源捕获边缘环识别符;将所述边缘环插入至边缘环载具的槽中,所述边缘环被分配给所述边缘环载具,其中将所述边缘环插入包含:将所述边缘环识别符与所述槽的槽识别符以及所述边缘环载具的载具识别符链接;以及针对进出所述边缘环载具以及进出处理站的传送,追踪所述边缘环识别符,其中,对所述边缘环识别符的所述追踪建立元数据文件,所述元数据文件提供关于所述边缘环的寿命信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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