恭喜崇硕科技公司D·R·特洛伊获国家专利权
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龙图腾网恭喜崇硕科技公司申请的专利用于衬底加工系统的平坦化膜及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111432983B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880078406.8，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权用于衬底加工系统的平坦化膜及方法是由D·R·特洛伊设计研发完成，并于2018-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于衬底加工系统的平坦化膜及方法在说明书摘要公布了：公开了一种用于平坦化膜的方法和系统。一方面，该方法包括提供弹性膜并使用调节工具使膜的表面平坦化。平坦化的膜可用于晶圆的化学机械平坦化。该方法还包括用平坦化的膜修整晶圆的表面。
本发明授权用于衬底加工系统的平坦化膜及方法在权利要求书中公布了：1.一种加工用于衬底载体的弹性膜的方法，所述方法包括：提供所述弹性膜；拉紧所述弹性膜；和使所述弹性膜的表面平坦化以形成平坦化的弹性膜，其中所述平坦化导致表面粗糙度在预定范围内的所述平坦化的弹性膜，其增加所述弹性膜和晶圆之间的密封，其中在拉紧所述弹性膜时，进行使所述弹性膜的表面平坦化。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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