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龙图腾网恭喜东领科技装备有限公司申请的专利一种用于原子层沉积的喷头组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119320939B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411878979.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种用于原子层沉积的喷头组件是由张小强;张远昊设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于原子层沉积的喷头组件在说明书摘要公布了：本发明涉及原子层沉积技术领域，特别是涉及一种用于原子层沉积的喷头组件，包括集成板，集成板的上侧固定安装有安装罩，集成板的侧面等距交错设置有引流机构，安装罩的侧面等距交错设置有驱动机构，引流机构包括第一通道、第二通道和第三通道。本发明通过设置引流机构和驱动机构，可实现根据不同形状的基底进行喷涂操作，使喷头喷出的气体呈不同阵列状态适配不同形状的基底使用，且在喷涂时，可根据不同沉积方式切换对应不同气体通道引导流动，产生不同的沉积操作，且驱动控制操作较为单一无需复杂程序逻辑即可进行控制使用，使得该喷头组件的适配性和功能性较强，无需进行更换即可进行多状态使用操作，提高了沉积工作效率。

本发明授权一种用于原子层沉积的喷头组件在权利要求书中公布了：1.一种用于原子层沉积的喷头组件，包括集成板（1），集成板（1）的上侧固定安装有安装罩（2），集成板（1）的侧面等距交错设置有引流机构（3），安装罩（2）的侧面等距交错设置有驱动机构（4）；其特征在于：所述引流机构（3）包括第一通道（31）、第二通道（32）和第三通道（33），第一通道（31）、第二通道（32）和第三通道（33）的上侧设置有联动块（341），联动块（341）的内部设置有第一导流腔（342）和第二导流腔（343），联动块（341）的下侧设置有底芯块（35）和中芯块（36），联动块（341）的上侧设置有顶芯块（37），顶芯块（37）的侧面开设有两组避让槽（371），顶芯块（37）的内侧固定安装有活动块（372），联动块（341）的内侧固定安装有固定块（373），底芯块（35）的侧面对应第二通道（32）位置等距开设有贯穿其的第一配合槽（351）以及对应第三通道（33）位置等距开设有贯穿其的第二配合槽（352），中芯块（36）的侧面对应第二通道（32）和第三通道（33）位置等距开设有贯穿其的第三配合槽（361），中芯块（36）的侧面等距开设有第四配合槽（362）且第四配合槽（362）设置在第三配合槽（361）之间位置，底芯块（35）、中芯块（36）和顶芯块（37）的侧面设置有约束块（381），约束块（381）为橡胶材质的圆环块，顶芯块（37）的上侧设置有第一连接管（39）、第二连接管（391）和第三连接管（392）；所述驱动机构（4）包括微型电机（43），微型电机（43）的侧面设置有安装块（44），微型电机（43）的下侧设置有微型电推杆（45），微型电推杆（45）的侧面设置有驱动块（46），驱动块（46）为弹性橡胶材质的圆形块；所述微型电推杆（45）可推拉驱动块（46）进行上下移动，使得驱动块（46）分别贴合在对应底芯块（35）、中芯块（36）和顶芯块（37）位置的约束块（381）侧面，微型电机（43）驱动微型电推杆（45）使驱动块（46）旋转带动约束块（381）进行旋转。

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