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龙图腾网恭喜芯达半导体设备(苏州)有限公司申请的专利一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119225129B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411759626.0，技术领域涉及：G03F7/38；该发明授权一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置是由王阳;魏猛;李冬海设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置，涉及晶圆加工技术领域。该种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置，包括设置在底板顶部的光刻胶烘烤机，所述光刻胶烘烤机包括箱体和设置在箱体顶部的加热模块，且加热模块的顶部设置有多个顶杆和多个吸附孔。该种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置，在基板放置在加热模块上前，能够对加热模块和顶杆的顶部进行自动清洁，同时，能够将吸附孔内的杂质向上顶出，对其进行自动清洁，并且，能够对加热模块的平整度进行自动检测，保证基板与加热模块的贴合效果，从而保证加热烘烤的效率和质量；待基板放置在加热模块上后，能够对基板与加热模块贴合状态进行检测，保证加热烘烤的质量。

本发明授权一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置，包括底板（1）以及设置在底板（1）顶部的光刻胶烘烤机，所述光刻胶烘烤机包括箱体（11）和设置在箱体（11）顶部的加热模块（1101），且加热模块（1101）的顶部设置有多个顶杆（1102）和多个吸附孔（1103），所述底板（1）的顶部通过升降模块（12）连接有密封罩（13），且密封罩（13）的顶部固定连接有抽风机（14），所述底板（1）的顶部固定连接有支撑板（15），所述支撑板（15）的侧壁固定连接有气缸（16），且气缸（16）的伸缩端固定连接有托架（17），其特征在于，还包括：固定管（23），固定于所述加热模块（1101）的底部，且固定管（23）的侧壁固定插设有压力传感器（26）；第一复位机构，设置于所述固定管（23）内，且第一复位机构上连接有移动盘（24），用于对移动盘（24）的移动进行导向与复位；第一移动杆（27），固定于所述移动盘（24）的顶部，使第一移动杆（27）的上端能够插入吸附孔（1103）内；抽气机构，设置于所述箱体（11）内，用于对固定管（23）进行抽气操作；检测机构，设置于所述箱体（11）的上方，用于对所述加热模块（1101）的平整度进行检测；所述检测机构包括：多个伸缩机构，设置于所述安装板（20）的底部，且每个所述伸缩机构上连接有第一T形导杆（22），用于对第一T形导杆（22）进行复位，所述第一T形导杆（22）贯穿安装板（20）的顶部设置；检测组件，设置于所述滑动块（19）的侧壁，用于对所述第一T形导杆（22）的移动进行检测；所述检测组件包括：L形块（208），通过L形板（205）固定于所述滑动块（19）的侧壁，且L形块（208）的侧壁固定插设有距离传感器（209）；两个滑动杆（210），插设于所述L形板（205）的侧壁，所述滑动杆（210）的一端固定连接有第一移动块（206），且滑动杆（210）的另一端固定连接有第二移动块（211）；两个第一弹簧（207），套设于两个所述滑动杆（210）的侧壁，且第一弹簧（207）的两端分别与L形板（205）以及第二移动块（211）的侧壁固定；拉绳（204），设置于所述安装板（20）的上方，且拉绳（204）的一端与第一移动块（206）的侧壁固定，所述拉绳（204）的另一端通过第二支撑块（202）固定于安装板（20）的上方；第二支撑块（202），套设于所述拉绳（204）的侧壁且固定于所述安装板（20）的上方；多个固定环（203），套设于所述拉绳（204）的侧壁且固定于所述第一T形导杆（22）的顶部。

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