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龙图腾网获悉贝耐特光学科技(苏州)有限公司申请的专利基于低相干光Michelson干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119043196B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411545263.0，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权基于低相干光Michelson干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置是由肖峰;王帅设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于低相干光Michelson干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置在说明书摘要公布了：本发明属于液晶盒厚度检测技术领域，尤其公开了基于低相干光Michelson干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置，包括纳米定位台、成像系统、计算机、照明系统、Michelson干涉物镜和硅基液晶盒，所述成像系统包括第一分光棱镜、成像透镜和面阵相机，所述照明系统包括低相干光源、聚光透镜和投影透镜。本发明通过测量盖板玻璃下表面的三维形貌数据和硅基底板上表面的三维形貌数据，并将两个面的三维形貌数据拟合成平面，通过计算两个拟合平面在垂直方向上的坐标差值计算得到硅基液晶盒的厚度H，由于装置具有大视场的特性，且视场可覆盖硅基液晶盒的尺寸，因此能够实现对硅基液晶盒厚度的全局测量，测量速度快、准确度高、精度高。

本发明授权基于低相干光Michelson干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置在权利要求书中公布了：1.基于低相干光Michelson干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置，其特征在于：包括纳米定位台（14）、成像系统（401）、计算机（17）、照明系统（18）、Michelson干涉物镜（19）和硅基液晶盒（20），所述成像系统（401）包括第一分光棱镜（4）、成像透镜（15）和面阵相机（16），所述照明系统（18）包括低相干光源（1）、聚光透镜（2）和投影透镜（3），照明系统（18）通过低相干光源（1）连接计算机（17），低相干光源（1）发出的光通过聚光透镜（2）聚合后，通过投影透镜（3）投影到成像系统（401）的第一分光棱镜（4）上，第一分光棱镜（4）将光照射到Michelson干涉物镜（19）内部，所述硅基液晶盒（20）包括盖板玻璃（11）、多个间隔子（12）和硅基底板（13），在多个间隔子（12）之间添加液晶，所述硅基液晶盒（20）对应放置在纳米定位台（14）顶面，纳米定位台（14）通过导线连接计算机（17），所述纳米定位台（14）上设置有压电陶瓷，计算机（17）控制纳米定位台（14）工作，纳米定位台（14）通过压电陶瓷在垂直方向实现对硅基液晶盒（20）的纳米级定位，光经过Michelson干涉物镜（19）对硅基液晶盒（20）进行照射，经过硅基底板（13）顶面或盖板玻璃（11）底面反射的光返回到Michelson干涉物镜（19）的内部，在Michelson干涉物镜（19）中形成干涉光后传输到第一分光棱镜（4）中，第一分光棱镜（4）将干涉光通过成像透镜（15）成像到面阵相机（16）内部，面阵相机（16）将干涉光的光强数据传输给计算机（17），计算机（17）根据干涉光的光强数据从而全局检测硅基液晶盒（20）的液晶厚度；所述Michelson干涉物镜（19）包括第一物镜透镜（5）、第二物镜透镜（6）、第三物镜透镜（7）、第二分光棱镜（8）、玻璃平板（9）和反射镜（10），玻璃平板（9）和反射镜（10）均竖直设置，且反射镜（10）内侧面镀膜，光依次经过第一物镜透镜（5）、第二物镜透镜（6）、第三物镜透镜（7）后照射在第二分光棱镜（8）后，一部分光通过玻璃平板（9）传输给反射镜（10），并经过反射镜（10）反射后回到第二分光棱镜（8）的分光面中，形成参考光，另一部分光对硅基液晶盒（20）进行照射，经过硅基底板（13）顶面或盖板玻璃（11）底面反射到第二分光棱镜（8）的分光面中，形成测试光，参考光和测试光在第二分光棱镜（8）的分光面处产生干涉，干涉光通过Michelson干涉物镜（19）投影到成像系统（401）的第一分光棱镜（4）中。

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