三叠纪(广东)科技有限公司;成都迈科科技有限公司李勇获国家专利权
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龙图腾网获悉三叠纪(广东)科技有限公司;成都迈科科技有限公司申请的专利支撑基板、压力传感器及压力变送器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222812502U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421826993.3,技术领域涉及:G01L19/00;该实用新型支撑基板、压力传感器及压力变送器是由李勇;张继华;李文磊;蔡星周;王冬滨设计研发完成,并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本支撑基板、压力传感器及压力变送器在说明书摘要公布了:本实用新型实施例提供一种支撑基板、压力传感器及压力变送器,用以解决现有压力传感器在使用过程中经常出现零点漂移的缺陷。该支撑基板采用热膨胀系数与所述单晶硅膜片相匹配的玻璃基板制造支撑基板本体,并在其中心部位开设高压引流通道;支撑基板能够通过键合工艺与单晶硅膜片固定连接,并密封单晶硅膜片的杯形腔室,形成高压腔。由于玻璃基支撑基板本体的热膨胀系数与单晶硅膜片的热膨胀系数相匹配,这使得不论在键合封装过程中,还是工作温度变化的使用过程中,两者的热膨胀或收缩变形量基本一致,减少内应力的产生和累积。进而,有效解决现有压力传感器因封装过程和使用过程中的温度变化产生内应力而经常出现零点漂移的技术问题。
本实用新型支撑基板、压力传感器及压力变送器在权利要求书中公布了:1.支撑基板,用于支撑和固定压力传感器的单晶硅膜片;所述支撑基板110能够通过键合工艺与所述单晶硅膜片固定连接,密封所述单晶硅膜片的杯形腔室,形成高压腔;其特征在于,所述支撑基板110包括:支撑基板本体111,采用热膨胀系数与所述单晶硅膜片相匹配的玻璃基板制成;高压引流通道112,为开设在所述支撑基板本体111中心部位的贯穿通孔,用于连接所述高压腔和被测压力源,将被测压力介质引入所述高压腔中,在所述高压腔内形成与被测压力源相同的压力环境。
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