东莞市源鑫自动化设备有限公司彭良杰获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市源鑫自动化设备有限公司申请的专利一种用于半导体产品的研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222806756U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421785649.4,技术领域涉及:B24B37/00;该实用新型一种用于半导体产品的研磨设备是由彭良杰;王曦设计研发完成,并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体产品的研磨设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体产品加工技术领域,具体涉及一种用于半导体产品的研磨设备,该设备包括机架、处理模块、装设于机架的研磨盘、研磨横移机构以及装设于研磨横移机构输出端的研磨机构;所述研磨机构包括安装架以及上下滑动设置于安装架的安装板,所述安装架的一侧装设有用于驱动安装板升降的第一升降驱动件;所述安装板的下端转动设置有用于固定半导体产品的治具,所述安装板装设有第一横移驱动件以及摆臂,所述第一横移驱动件的输出端与摆臂的上端的一侧连接,所述治具的上端与摆臂的下端连接。本实用新型的目的在于提供一种用于半导体产品的研磨设备,可由ELG技术配合半导体产品的实现全自动研磨,提升半导体产品的研磨效率。
本实用新型一种用于半导体产品的研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体产品的研磨设备,包括机架以及装设于机架的研磨盘,其特征在于,还包括处理模块、装设于机架的研磨横移机构以及装设于研磨横移机构输出端的研磨机构;所述研磨机构包括摆臂、治具、均与处理模块信号连接的第一升降驱动件以及第一横移驱动件,所述第一升降驱动件用于驱动第一横移驱动件上下升降,所述第一横移驱动件通过摆臂驱动治具转动,所述处理模块用于读取治具上半导体产品的电阻值并根据ELG控制第一升降驱动件以及第一横移驱动件的输出值。
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