杭州积海半导体有限公司黄庆获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利一种半导体设备的辅助安装工具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222806980U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421774489.3,技术领域涉及:B25B27/24;该实用新型一种半导体设备的辅助安装工具是由黄庆设计研发完成,并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备的辅助安装工具在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种半导体设备的辅助安装工具,属于半导体领域。该辅助安装工具包括升降装置。承托装置,连接至升降装置,承托装置用于承托连接组件。其中,升降装置沿纵向方向升降,带动承托装置在纵向方向对连接组件进行定位,以将连接组件与反应腔体安装。本实用新型通过设置的升降装置和承托装置,升降装置沿纵向方向升降,带动承托装置在纵向方向对连接组件进行定位,以将连接组件与反应腔体安装。从而能够防止阀门底部的泵送管线容易松脱下坠。同时,能够将隔离阀和节流阀与泵送管线连接时准确定位,提高了安装的效率,也提高了半导体设备维护保养的效率。减少泵送管线密封失效风险。
本实用新型一种半导体设备的辅助安装工具在权利要求书中公布了:1.一种半导体设备的辅助安装工具,所述半导体设备至少包括反应腔体和连接组件,所述连接组件用于供气体流通至反应腔体,其特征在于,该半导体设备的辅助安装工具包括:升降装置;承托装置,连接至所述升降装置,所述承托装置用于承托所述连接组件;其中,所述升降装置沿纵向方向升降,带动所述承托装置在纵向方向对所述连接组件进行定位,以将所述连接组件与反应腔体安装。
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