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龙图腾网恭喜紫光同芯微电子有限公司申请的专利一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114678284B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011552255.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法是由欧阳睿;许秋林;肖金磊;陈凝设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法，针对晶圆组N片晶圆所有芯片，使用ASCII编码字符标记有效芯片和失效芯片，为晶圆组N片晶圆中每个芯片创建芯片坐标，汇总全部芯片坐标，统计晶圆组同一横向坐标下失效芯片数与晶圆组晶圆片数量N的百分比，实现对晶圆组N片晶圆下具有集中失效芯片趋势特征区域的转置处理，提高识别失效芯片的效率和整体芯片产品的可靠性。

本发明授权一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法，其特征在于，所述筛选方法包括如下具体步骤：第一步：晶圆组由N片晶圆组成，其中，N≥2，使用ASCII编码字符定义有效芯片、缺省芯片和失效芯片所代表的Map文本文件，并定义Map文本文件后缀；第二步：使用自定义Map工具软件定义晶圆Map坐标系、晶圆组晶圆测试探针Map数据、第一晶圆组测试Map文本文件和第二晶圆组测试Map文本文件，并设置晶圆组测试探针Map数据目录项、第一晶圆组测试Map文本文件目录项和第二晶圆组测试Map文本文件目录项；第三步：启动ATE仪收集晶圆组晶圆测试探针Map数据，将该晶圆组晶圆测试探针Map数据存放在晶圆组测试探针Map数据目录项中；第四步：使用自定义Map工具软件选定晶圆组测试探针Map数据目录项，由Map工具软件对晶圆组测试探针Map数据进行逐一识别，转置输出为第一晶圆组测试Map文本文件，存放在第一晶圆组测试Map文本文件目录项中；第五步：选定第一晶圆组测试Map文本文件目录项，由Map工具软件调用晶圆组统计算法逐一读取第一晶圆组测试Map文本文件目录项中Map文本文件，使用ASCII编码字符标记晶圆组N片晶圆所有芯片中的有效芯片和失效芯片，以晶圆MAP坐标系坐标原点0，0为起始点，以晶圆MAP芯片所在位置的行数和列数为坐标参数，为晶圆组N片晶圆中每个芯片创建芯片坐标，汇总全部芯片坐标，统计晶圆组晶圆同一横向芯片坐标的失效芯片数量与晶圆组晶圆片数量N的百分比值，并将百分比值与设定阈值进行逐个比较，如该芯片坐标的百分比值大于设定阈值，将该芯片坐标记录在异常失效坐标集{Q}中；第六步：重新使用Map工具软件逐一读取第五步修正后的第一晶圆组测试Map文本文件，获取晶圆组N片晶圆所有芯片中的有效芯片标记字符和失效芯片标记字符，读取异常失效坐标集{Q}中的有效芯片标记字符，并将该有效芯片标记字符修改为失效芯片标记字符；第七步：使用Map工具软件将上述第六步修正后的第一晶圆组测试Map文本文件转置输出为第二晶圆组测试Map文本文件，并存放在第二晶圆组测试Map文本文件目录项中，第二晶圆组测试Map文本文件用于晶圆测试的后道封装。

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