恭喜株式会社斯库林集团高桥朋宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113490999B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080014920.2，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由高桥朋宏;武知圭;秋山刚志;佐佐木光敏设计研发完成，并于2020-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：基板处理装置100将基板W浸渍于作为贮存于内槽112的处理液L的贮存处理液L1进行基板W的处理。基板处理装置100具备气泡供给部130和循环部160。气泡供给部130向贮存处理液L1供给气泡KA。循环部160对气泡供给部130生成贮存处理液L1的第一液流R1。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其将基板浸渍于作为贮存于贮存部的处理液的贮存处理液，并进行上述基板的处理，上述基板处理装置的特征在于，具备：气泡供给部，其向上述贮存处理液供给气泡；以及液流生成部，其对上述气泡供给部生成上述贮存处理液的液流，上述气泡供给部具有气体流动的第一管部，在上述第一管部形成有配置于上述贮存处理液内的气泡放出口，上述气泡放出口向上述贮存处理液内放出上述气体的气泡，上述液流生成部具有上述处理液流动的第二管部，在上述第二管部形成有配置于上述贮存处理液内的处理液放出口，上述处理液放出口通过向上述贮存处理液内放出在上述第二管部中流动的上述处理液而在上述气泡放出口的周边生成上述液流，上述液流生成部具有一对上述第二管部，一对上述第二管部以夹着上述第一管部的方式与上述第一管部平行地配置。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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