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龙图腾网恭喜浙江芯晖装备技术有限公司申请的专利抛光头清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111070098B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911404893.5，技术领域涉及：B24B53/017；该发明授权抛光头清洗装置是由杨兆明;颜凯;中原司设计研发完成，并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本抛光头清洗装置在说明书摘要公布了：本发明为一种抛光头清洗装置，包括，基板，能固定连接于机体上；毛刷结构，包括基板上方能拆卸地设置的第一毛刷部和第二毛刷部，第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋转，第一毛刷部用于刷洗抛光头的侧面，第二毛刷部用于刷洗抛光头的加工端面；旋转驱动结构，包括第一旋转部和第二旋转部；升降结构，连接于基板的底部且向下延伸设置，升降结构用于驱动毛刷结构和旋转驱动结构沿竖直方向升降；喷水结构，用于喷水冲洗抛光头；控制部，旋转驱动结构、升降结构和喷水结构均与控制部电连接。该装置可以有效清洗抛光头，防止在吸取硅片的时候抛光头上有异物对硅片造成划伤或者异物掉落在硅片上，保证硅片的性能。

本发明授权抛光头清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光头清洗装置，其特征在于，包括，基板，能固定连接于机体上；毛刷结构，包括基板上方平行间隔且能拆卸地设置的第一毛刷部和第二毛刷部，所述第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋转，所述第一毛刷部用于刷洗抛光头的侧面，所述第二毛刷部用于刷洗抛光头的加工端面；旋转驱动结构，包括能分别驱动所述第一毛刷部和第二毛刷部旋转的第一旋转部和第二旋转部；升降结构，连接于所述基板的底部且向下延伸设置，所述升降结构用于驱动所述毛刷结构和所述旋转驱动结构沿竖直方向升降；喷水结构，用于喷水冲洗抛光头；控制部，所述旋转驱动结构、所述升降结构和所述喷水结构均与所述控制部电连接；所述毛刷结构包括一个所述第一毛刷部和两个所述第二毛刷部，所述第一毛刷部设置于两个所述第二毛刷部之间，所述毛刷结构能同时清洗两个抛光头；所述第一旋转部包括穿过所述基板设置的第一旋转轴，所述第一毛刷部能拆卸地连接于第一旋转轴的顶端，所述第一旋转轴位于所述基板下方的一端连接设置第一伺服马达，所述第一伺服马达用于驱动所述第一旋转轴和所述第一毛刷部周向旋转，所述第一旋转轴的底端设置第一同步带轮，所述第一伺服马达的输出端设置第二同步带轮，所述第一同步带轮和所述第二同步带轮上套设第一同步带；所述第一伺服马达架设于第一马达基座上，所述升降结构包括能驱动所述第一马达基座、所述第一伺服马达、所述第一旋转轴和所述第一毛刷部升降的第一气缸；所述第二旋转部包括穿过所述基板设置的第二旋转轴，所述第二毛刷部能拆卸地连接于第二旋转轴的顶端，所述第二旋转轴位于所述基板下方的一端连接设置第二伺服马达，所述第二伺服马达用于驱动所述第二旋转轴和所述第二毛刷部周向旋转，所述第二旋转轴的底端设置第三同步带轮，所述第二伺服马达的输出端设置第四同步带轮，所述第三同步带轮和所述第四同步带轮上套设第二同步带；所述第二伺服马达架设于第二马达基座上，所述升降结构包括能驱动所述第二马达基座、所述第二伺服马达、所述第二旋转轴和所述第二毛刷部升降的第二气缸；所述第一伺服马达、所述第一气缸、所述第二伺服马达和所述第二气缸均与所述控制部电连接；所述第一气缸包括固定连接于基板底部且向下延伸设置的第一缸筒，所述第一缸筒的下端密封滑动穿设第一缸杆，所述第一缸杆的下端连接第一气缸基座的底部，所述第一气缸基座顶部设置所述第一马达基座；所述第一气缸基座的顶部上方设置第一机壳基座，所述第一旋转轴的底端转动穿过所述第一机壳基座；所述第二气缸包括固定连接于基板底部且向下延伸设置的第二缸筒，所述第二缸筒的下端密封滑动穿设第二缸杆，所述第二缸杆的下端连接第二气缸基座的底部，所述第二气缸基座顶部设置所述第二马达基座；所述第二气缸基座的顶部上方设置第二机壳基座，所述第二旋转轴的底端转动穿过所述第二机壳基座；所述第一毛刷部包括能拆卸地连接于所述第一旋转轴的顶端的第一毛刷盘，所述第一毛刷盘的侧壁上沿水平方向设置刷毛。

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