恭喜松下知识产权经营株式会社末次大辅获国家专利权
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龙图腾网恭喜松下知识产权经营株式会社申请的专利溅射装置以及溅射方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108203809B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201711303507.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权溅射装置以及溅射方法是由末次大辅;田边正明;奥田晃;泷井谦昌设计研发完成，并于2017-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射装置以及溅射方法在说明书摘要公布了：提供一种溅射装置以及溅射方法，能够稳定地形成高品质的膜。溅射装置具备能够在内部相互对置地配置靶材和基板的真空腔、能够与靶材电连接的直流电源、以及将从直流电源流到靶材的电流脉冲化的脉冲化单元，在真空腔内生成等离子体从而在基板上形成薄膜，溅射装置还具备：电流计，其对从直流电源流到脉冲化单元的电流进行测量；电源控制器，其对直流电源进行反馈控制，使得由电流计测量的电流值成为给定值；以及脉冲控制器，其对脉冲化单元指示与电源控制器对直流电源的控制周期错开的脉冲周期。
本发明授权溅射装置以及溅射方法在权利要求书中公布了：1.一种溅射装置，具备：真空腔，其能够在内部相互对置地配置靶材和基板；直流电源，其能够与所述靶材电连接；以及脉冲化单元，其将从所述直流电源流到所述靶材的电流脉冲化，在所述真空腔内生成等离子体从而在所述基板上形成薄膜，所述溅射装置还具备：电流计，其连接在所述直流电源与所述脉冲化单元之间，对从所述直流电源流到所述脉冲化单元的电流进行测量；电源控制器，其对所述直流电源的电压设定值进行反馈控制，使得由所述电流计测量的电流值成为给定值；脉冲控制器，其对所述脉冲化单元指示与所述电源控制器对所述直流电源的控制周期错开的脉冲周期；磁体，其配置在所述靶材的与所述基板对置的面相反侧的背面；旋转机构，其使所述磁体相对于与所述靶材的所述背面交叉的旋转轴旋转；以及旋转控制器，其控制所述旋转机构，所述旋转控制器与所述脉冲控制器连接，能够接受旋转的指示值而设定为给定的旋转速度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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