恭喜深圳市德沃先进自动化有限公司程炜获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市德沃先进自动化有限公司申请的专利引线键合装置、设备和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119252746B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411777656.4,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权引线键合装置、设备和方法是由程炜;刘鑫设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本引线键合装置、设备和方法在说明书摘要公布了:本申请实施例涉及芯片产品加工设备领域,尤其是引线键合装置、设备和方法。该引线键合装置、设备包括:XY平台单元;第一键合单元,安装于所述XY平台上,包括第一UVZ驱动组件和连接于所述第一UVZ驱动组件的第一键合机构;第二键合单元,安装于所述XY平台上,与所述第一键合单元镜像设置,包括第二UVZ驱动组件和连接于所述第二UVZ驱动组件的第二键合机构。本申请实施例在同一XY平台单元上设置两个键合单元,均能够实现一定行程范围内的三向运动,配合XY平台单元的运行,可以同时对两个键合工位进行键合加工,同时该装置结构实现了键合区域与键合精度分离设计,从而能够实现更大区域的键合,键合区域的范围可实现进一步的拓展。
本发明授权引线键合装置、设备和方法在权利要求书中公布了:1.引线键合装置,其特征在于,包括:XY平台单元;第一键合单元,安装于所述XY平台上,包括第一UVZ驱动组件和连接于所述第一UVZ驱动组件的第一键合机构;第二键合单元,安装于所述XY平台上,与所述第一键合单元镜像设置,包括第二UVZ驱动组件和连接于所述第二UVZ驱动组件的第二键合机构;XY平台带动第一键合单元和第二键合单元同时在X轴方向和或Y轴方向进行移动,将第一键合单元和第二键合单元移动到键合加工区域,再由第一键合单元的第一UVZ驱动组件驱动第一键合机构在UVZ空间直角坐标系内进行运动,完成键合加工;和或由第二键合单元的第二UVZ驱动组件驱动第二键合机构在UVZ空间直角坐标系内进行运动,完成键合加工;所述第一UVZ驱动组件和第二UVZ驱动组件分别包括:单元底座,安装于所述XY平台上,U轴驱动组件,包括U轴音圈电机和U轴主体,U轴音圈电机包括U轴定子和U轴动子,所述U轴定子设于所述单元底座上,所述U轴动子与所述U轴主体连接;V轴驱动组件,所述V轴驱动组件包括V轴音圈电机和V轴主体,V轴音圈电机包括V轴定子和V轴动子,所述V轴定子设于所述单元底座上,所述V轴动子与所述V轴主体连接;Z轴驱动组件,包括Z轴音圈电机和Z轴主体,所述Z轴音圈电机包括Z轴定子和Z轴动子,所述Z轴定子设置于所述单元底座上,所述Z轴动子与所述Z轴主体连接;所述U轴定子包括U轴定子磁铁,所述U轴动子包括U轴动子线圈,所述U轴动子线圈具有V向延伸的第一直线段,所述第一直线段的长度大于所述U轴定子磁铁的V向覆盖长度;所述Z轴定子包括Z轴定子磁铁,所述Z轴动子包括Z轴动子线圈,所述Z轴动子线圈具有V向延伸的第二直线段,所述第二直线段的长度大于所述Z轴定子磁铁的V向覆盖长度。
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