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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222827217U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421787959.X，技术领域涉及：H03H11/28；该实用新型可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置是由乐卫平;林桂浩;唐亚海;黄晓东设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置，涉及电气控制技术领域。可切换式阻抗匹配电路设有信号接入端与负载接入端，包括：主控电路；采样电路，用于采集电信号并反馈至主控电路；第一阻抗匹配电路，用于第一信号的阻抗匹配；第二阻抗匹配电路，用于第二信号的阻抗匹配；开关切换电路，用于根据主控电路输出的开关切换信号导通第一阻抗匹配电路与负载接入端之间的通路，断开第二阻抗匹配电路与负载接入端之间的通路；或用于根据主控电路输出的开关切换信号导通第二阻抗匹配电路与负载接入端之间的通路，断开第一阻抗匹配电路与负载接入端之间的通路。本实用新型旨在提高阻抗匹配的速度以及对电路体积的缩减。

本实用新型可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置在权利要求书中公布了：1.一种可切换式阻抗匹配电路，所述可切换式阻抗匹配电路应用于等离子体产生装置，其特征在于，所述可切换式阻抗匹配电路设有信号接入端与负载接入端，所述可切换式阻抗匹配电路包括：主控电路；采样电路，所述采样电路的输入端与所述信号接入端、所述负载接入端电连接，所述采样电路的输出端与所述主控电路电连接，所述采样电路用于采集电信号并反馈至主控电路；第一阻抗匹配电路，所述第一阻抗匹配电路的输入端与所述信号接入端电连接，所述第一阻抗匹配电路的输出端与所述负载接入端电连接；所述第一阻抗匹配电路用于第一信号的阻抗匹配；第二阻抗匹配电路，所述第二阻抗匹配电路的输入端与所述信号接入端电连接，所述第二阻抗匹配电路的输出端与所述负载接入端电连接；所述第二阻抗匹配电路用于第二信号的阻抗匹配；开关切换电路，所述开关切换电路的输入端与所述信号接入端电连接，所述开关切换电路的输出端与所述第一阻抗匹配电路、所述第二阻抗匹配电路电连接，所述开关切换电路的受控端与所述主控电路电连接，所述开关切换电路用于根据所述主控电路输出的开关切换信号导通所述第一阻抗匹配电路与所述负载接入端之间的通路，断开所述第二阻抗匹配电路与所述负载接入端之间的通路；或用于根据所述主控电路输出的开关切换信号导通所述第二阻抗匹配电路与所述负载接入端之间的通路，断开所述第一阻抗匹配电路与所述负载接入端之间的通路。

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