恭喜科磊股份有限公司A·玛纳森获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利使用量子计算的具有动态采样计划、优化晶片测量路径及优化晶片运输的制造厂管理获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114144867B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980098179.X,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权使用量子计算的具有动态采样计划、优化晶片测量路径及优化晶片运输的制造厂管理是由A·玛纳森;T·格林茨威格;E·佩莱德;A·戈洛塔斯万设计研发完成,并于2019-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用量子计算的具有动态采样计划、优化晶片测量路径及优化晶片运输的制造厂管理在说明书摘要公布了:本发明提供优化制造厂中的晶片运输及计量测量的系统及方法。方法包括:导出并更新提供晶片特定测量位点及状况的动态采样计划;导出对应于所述动态采样计划的所述晶片的计量测量的优化晶片测量路径;管理通过所述制造厂的FOUP前开式晶片传送盒运输,从而将晶片运输到测量工具,同时在将所述FOUP与所述相应晶片运输到所述相应测量工具之前或时,将所述动态采样计划及所述晶片测量路径提供到所述相应测量工具;及由所述相应测量工具根据所述经导出晶片测量路径来实行所述相应晶片的计量及或检验测量。量子计算资源可用于解决对应特定优化问题,以减少所需时间、改进计算解决方案并改进制造厂合格率以及所生产晶片的准确性。
本发明授权使用量子计算的具有动态采样计划、优化晶片测量路径及优化晶片运输的制造厂管理在权利要求书中公布了:1.一种用于优化半导体制造厂fab中的晶片运输及计量测量的系统,所述系统包括:至少一个处理器,其经配置以:导出并更新提供晶片特定测量位点及状况的动态采样计划,其中所述动态采样计划在晶片之间不同,导出对应于经导出及经更新的相应动态采样计划的所述晶片的计量测量的优化晶片测量路径,及通过所述制造厂管理前开式晶片传送盒FOUP运输,从而将晶片运输到测量工具,同时在将所述FOUP与相应晶片运输到相应测量工具之前或时,将所述优化晶片测量路径提供到所述相应测量工具,其中所述相应测量工具是经配置以根据经导出的所述优化晶片测量路径来实行所述相应晶片的计量及或检验测量的计量工具或检验工具,且其中所述处理器包括至少一个量子计算机。
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