恭喜浜松光子学株式会社中村共则获国家专利权
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龙图腾网恭喜浜松光子学株式会社申请的专利半导体检查装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115326827B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210947735.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权半导体检查装置是由中村共则;岩城吉刚设计研发完成，并于2018-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体检查装置在说明书摘要公布了：检查系统1具备：光源33；镜40b；检流计镜44a、44b；壳体32，其在内部保持镜40b与检流计镜44a、44b，且具有用于安装光学元件的安装部46；及控制部21a，其控制检流计镜44a、44b的偏转角；控制部21a以在通过检流计镜44a、44b及镜40b的第1光路L1与通过检流计镜44a、44b及安装部46的第2光路L2之间切换与半导体器件D光学连接的光路的方式控制偏转角，且以切换为第1光路L1时的偏转角与切换为第2光路L2时的偏转角不重复的方式控制偏转角。
本发明授权半导体检查装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体检查装置，其特征在于，是检查半导体器件的半导体检查装置，具备：第1光源，其产生照射于所述半导体器件的光；镜，其与所述第1光源光学连接；一对检流计镜，其设置于能够经由所述镜而与所述第1光源光学连接的位置；第1光检测器，其与所述镜光学连接且检测来自所述半导体器件的光；偏光分束器，其使自所述第1光源输出的光透过且使来自所述半导体器件的经由所述一对检流计镜的光朝向所述第1光检测器反射；第1安装部，其设置于能够与所述一对检流计镜光学连接的位置且用于安装光学元件；及控制部，其控制所述一对检流计镜的偏转角，所述控制部以在通过所述一对检流计镜及所述镜的第1光路与通过所述一对检流计镜及所述第1安装部的第2光路之间切换与所述半导体器件光学连接的光路的方式控制所述偏转角，并且以切换为所述第1光路时的所述偏转角与切换为所述第2光路时的所述偏转角不重复的方式控制所述偏转角。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社，其通讯地址为：日本静冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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