深圳市森美协尔科技有限公司欧晓永获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利晶圆承载台组件及探针台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222850647U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421205675.5,技术领域涉及:G01R1/04;该实用新型晶圆承载台组件及探针台是由欧晓永;姬祥设计研发完成,并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载台组件及探针台在说明书摘要公布了:本申请提供一种晶圆承载台组件及探针台。晶圆承载台组件包括:晶圆承载台,晶圆承载台具有承载面;第一移动组件,第一移动组件包括第一驱动件、第一导向件及第一校准件,第一校准件用于校准第一导向件的位置,第一导向件用于对晶圆承载台进行导向,第一驱动件与第一导向件配合以带动晶圆承载台沿第一方向移动;及第二移动组件,第二移动组件设置于第一移动组件背离晶圆承载台的一侧,第二移动组件包括第二驱动件、第二导向件及第二校准件,第二校准件用于校准第二导向件的位置,第二导向件用于对晶圆承载台进行导向,第二驱动件与第二导向件配合以带动晶圆承载台沿第二方向移动,来确保所述晶圆承载台移动的高精准度。
本实用新型晶圆承载台组件及探针台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆承载台组件,其特征在于,所述晶圆承载台组件包括:晶圆承载台,所述晶圆承载台具有承载面,所述承载面用于承载晶圆;第一移动组件,所述第一移动组件设置于所述晶圆承载台背离承载面的一侧,所述第一移动组件包括第一驱动件、第一导向件及第一校准件,所述第一校准件用于校准所述第一导向件的位置,所述第一导向件用于对所述晶圆承载台进行导向,且所述第一驱动件与所述第一导向件配合以带动所述晶圆承载台沿第一方向移动;及第二移动组件,所述第二移动组件设置于所述第一移动组件背离所述晶圆承载台的一侧,所述第二移动组件包括第二驱动件、第二导向件及第二校准件,所述第二校准件用于校准所述第二导向件的位置,所述第二导向件用于对所述晶圆承载台进行导向,且所述第二驱动件与所述第二导向件配合以带动所述晶圆承载台沿第二方向移动,且所述第二方向垂直于所述第一方向。
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