北京北方华创微电子装备有限公司马雪婷获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种晶圆盒的切换方法及相关装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118553662B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410606033.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆盒的切换方法及相关装置是由马雪婷设计研发完成，并于2024-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒的切换方法及相关装置在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供了一种晶圆盒的切换方法，该方法晶圆盒切换时，由第一控制器响应于针对目标晶圆盒的切换操作，向第二控制器发送携带有目标槽位数的切换开始指令，使得第二控制器响应于该指令确定目标槽位数并返回给第一控制器，以使第一控制器可以基于该在线方式获得槽位间距。如此，在晶圆盒切换时，无需停止运行第一控制器和第二控制器中的相关程序，手动在第二控制器中配置目标槽位数，也无需手动测量、校验槽位间距并在第一控制器中手动配置目标晶圆盒的槽位间距，有利于提高晶圆盒的切换效率。并且整个过程中无需运维人员手动配置第二控制器，有利于降低晶圆盒切换对运维人员的专业技能的要求。
本发明授权一种晶圆盒的切换方法及相关装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒的切换方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备的第一控制器，所述半导体工艺设备还包括晶圆装卸位和第二控制器，所述第二控制器用于基于所述第一控制器发出的指令，控制所述晶圆装卸位工作，所述晶圆盒的切换方法包括：响应于针对目标晶圆盒的切换操作，向所述第二控制器发送携带有目标槽位数的切换开始指令；所述目标晶圆盒与上一晶圆盒的类型不同，所述目标槽位数为所述目标晶圆盒的槽位数；所述切换开始指令用于指示所述第二控制器确定所述目标晶圆盒的槽位间距；所述目标晶圆盒与上一晶圆盒的类型不同是指目标晶圆盒与上一晶圆盒的槽位数和槽位间距中的至少一者不同；响应于所述第二控制器返回所述目标晶圆盒的槽位间距，保存所述目标晶圆盒的槽位间距；所述切换开始指令具体用于指示所述第二控制器针对目标晶圆盒执行扫描操作以得到扫描参数，并基于所述目标槽位数和所述扫描参数得到得目标晶圆盒的槽位间距。
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