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龙图腾网恭喜江苏源一工程科技有限公司申请的专利一种用于半导体单晶切片车间的惰性气体回收系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222846883U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420856005.3，技术领域涉及：C30B15/00；该实用新型一种用于半导体单晶切片车间的惰性气体回收系统是由董迎柏;宋吉庆;李群设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体单晶切片车间的惰性气体回收系统在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种用于半导体单晶切片车间的惰性气体回收系统，所述尾气输出装置包括单晶炉、主泵组、副泵组、三通阀、电动调节泵，所述多个单晶炉输出端处依次设有主泵组、副泵组，多个单晶炉输出端与主泵组、副泵组之间设有电动调节泵，所述主泵组的输出端处均设有三通阀，三通阀的一输出端通过第一排风管与排风机组输入端连接，排风机组输出端通过第二排风管与排烟囱连接，三通阀的另一端通过第一回收管与氧气分析模组输入端连接，氧气分析模组输出端通过第二回收管与氩气回收站连接，副泵组输出端通过第三回收管与第一回收管连接，可根据生产需求使用氮气或氩气，回收尾气的匹配度高，无需使用全氩气，降低生产成本，且结构简单。

本实用新型一种用于半导体单晶切片车间的惰性气体回收系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体单晶切片车间的惰性气体回收系统，包括尾气输出装置1、氧气分析模组2、排风机组3、氩气回收站、排烟囱4、控制台，其特征在于：所述尾气输出装置1有多组，每一组尾气输出装置1的一输出端通过氧气分析模组2与氩气回收站连接，每一组尾气输出装置1的另一输出端通过排风机组3与排烟囱4连接，所述尾气输出装置1包括单晶炉5、主泵组6、副泵组7、三通阀8、电动调节泵9，所述多个单晶炉5输出端处依次设有主泵组6、副泵组7，多个单晶炉5输出端与主泵组6、副泵组7之间设有电动调节泵9，所述主泵组6的输出端处均设有三通阀8，三通阀8的一输出端通过第一排风管10与排风机组3输入端连接，排风机组3输出端通过第二排风管11与排烟囱4连接，三通阀8的另一端通过第一回收管12与氧气分析模组2输入端连接，氧气分析模组2输出端通过第二回收管13与氩气回收站连接，副泵组7输出端通过第三回收管14与第一回收管12连接，控制台与单晶炉5、电动调节泵9、三通阀8、氧气分析模组2电性连接。

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