恭喜安徽光智科技有限公司周帅坤获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽光智科技有限公司申请的专利一种拼接式大面积靶材获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222846802U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420359829.X,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种拼接式大面积靶材是由周帅坤;安连;陈欢欢;戴晓雨;方文德;韦金超;李行鹏;吴新秀;宋江梦设计研发完成,并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种拼接式大面积靶材在说明书摘要公布了:本申请公开了一种拼接式大面积靶材,涉及真空镀膜技术领域,包括背板以及靶材单元;靶材单元通过粘结剂粘固在背板的一面上,由多个靶材拼接块拼组而成;各个靶材拼接块上用于拼接配合的拼接面为倾斜面。以背板作为载体,将多个靶材拼接块拼组形成靶材单元,再通过粘结剂粘固在背板。通过将小面积单晶靶料,经过一定的形态切割形成靶材拼接块再进行拼组,以制作成大面积高纯度的靶材单元,该设计可以满足任意尺寸的加工需求以及高纯度需求。而且,各个靶材拼接块上用于拼接配合的拼接面设计为倾斜面,不仅可以满足拼接的需求,也可以避免溅射出底部粘结剂的问题,进而避免镀膜污染。
本实用新型一种拼接式大面积靶材在权利要求书中公布了:1.一种拼接式大面积靶材,其特征在于,包括背板1以及靶材单元3;所述靶材单元3通过粘结剂2粘固在所述背板1的一面上,由多个靶材拼接块31拼组而成;各个所述靶材拼接块31上用于拼接配合的拼接面为倾斜面。
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