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龙图腾网恭喜中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利氦离子检测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117451910B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311526934.4，技术领域涉及：G01N30/72；该发明授权氦离子检测器及其制备方法是由冯飞;祝雨晨设计研发完成，并于2023-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本氦离子检测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种氦离子检测器及其制备方法，在闭合腔室中设置对收集电极可以得到较为理想的电场分布，以及在闭合腔室中结合设置偏置电极可以有效提高离子收集效率，使得氦离子检测器在较小体积的前提下，也能具有较低的检测限，较高的检测灵敏度。此外，该氦离子检测器采用三明治结构，适合与色谱柱结合使用或者与微色谱柱进行单片集成。

本发明授权氦离子检测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氦离子检测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供基板；提供上盖板及下盖板，于所述上盖板上形成第一收集电极，于所述下盖板上形成第二收集电极及位于所述第二收集电极两侧的第一偏置电极及第二偏置电极；将所述下盖板与所述基板的下表面键合；图形化所述基板，于所述基板中形成贯穿所述基板的贯通槽、与所述贯通槽相连通的输入输出通槽及激发电极通槽，且所述贯通槽显露所述第二收集电极、所述第一偏置电极及所述第二偏置电极；将所述上盖板与所述基板的上表面键合，通过所述上盖板覆盖所述贯通槽构成闭合腔室、覆盖所述输入输出通槽构成闭合输入输出通道及覆盖所述激发电极通槽构成激发电极通道，且所述第一收集电极显露于所述闭合腔室并与所述第二收集电极对应设置构成对收集电极；或包括以下步骤：提供基板；提供上盖板及下盖板，于所述上盖板上形成第一收集电极，于所述下盖板上形成第二收集电极及位于所述第二收集电极两侧的第一偏置电极及第二偏置电极；将所述上盖板与所述基板的上表面键合；图形化所述基板，于所述基板中形成贯穿所述基板的贯通槽、与所述贯通槽相连通的输入输出通槽及激发电极通槽，且所述贯通槽显露所述第二收集电极、所述第一偏置电极及所述第二偏置电极；将所述下盖板与所述基板的下表面键合，通过所述下盖板覆盖所述贯通槽构成闭合腔室、覆盖所述输入输出通槽构成闭合输入输出通道及覆盖所述激发电极通槽构成激发电极通道，且所述第一收集电极显露于所述闭合腔室并与所述第二收集电极对应设置构成对收集电极。

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