恭喜河南天璇半导体科技有限责任公司崔名扬获国家专利权
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龙图腾网恭喜河南天璇半导体科技有限责任公司申请的专利一种用于MPCVD设备的测温装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222846823U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421682229.3,技术领域涉及:C23C16/511;该实用新型一种用于MPCVD设备的测温装置是由崔名扬;任丽;贾盈盈;谭建龙设计研发完成,并于2023-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于MPCVD设备的测温装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及金刚石生产领域,尤其涉及一种用于MPCVD设备的测温装置。用于MPCVD设备的测温装置,包括测温基座和动力机构,动力机构包括安装第一动力机构,第一动力机构具有用于带动测温仪对不同列的籽晶进行测温的第一动力输出端,第二动力机构具有用于带动测温仪对同一列的不同籽晶进行测温的第二动力输出端。第二动力机构的第二动力输出端会叠加第一动力机构和第二动力机构的运动,使得测温仪具有向不同列的运动和同一列的不同位置的运动,进而能够覆盖所摆放的金刚石的全部位置,进而解决了现有技术中采用人工进行测温仪的角度调整导致人员劳动强度大以及存在安全隐患的问题。
本实用新型一种用于MPCVD设备的测温装置在权利要求书中公布了:1.一种用于MPCVD设备的测温装置,其特征在于:包括用于固定设置在MPCVD设备的腔体上的测温基座和用于驱动测温仪自动动作的动力机构,动力机构包括安装在测温基座上的第一动力机构,第一动力机构具有用于带动测温仪对不同列的籽晶进行测温的第一动力输出端,动力机构还包括安装在第一动力输出端上的第二动力机构,第二动力机构具有用于带动测温仪对同一列的不同籽晶进行测温的第二动力输出端,第二动力输出端具有用于安装测温仪的测温仪安装结构,所述第一动力输出端为用于输出摆动动作的摆动输出端或第一动力机构设置为直动动作机构,所述第二动力输出端为用于输出摆动动作的摆动输出端或第二动力机构为直动动作机构,第一动力机构还包括与第一动力输出端配合以控制其摆动角度的第一限位开关,所述第一限位开关具有两个且分别固定在第一动力机构的壳体上,第一动力输出端上固定设置有位于两个第一限位开关之间的第一触发件,和或第二动力机构还包括与第二动力输出端配合以控制其摆动角度的第二限位开关,所述第二限位开关具有两个且分别固定在第二动力机构的壳体上,第二动力输出端上固定设置有位于两个第二限位开关之间的第二触发件。
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