恭喜齐鲁工业大学(山东省科学院)王守国获国家专利权
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龙图腾网恭喜齐鲁工业大学(山东省科学院)申请的专利一种冰刀表面减阻复合镀膜工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116288342B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310248190.8,技术领域涉及:C23C28/00;该发明授权一种冰刀表面减阻复合镀膜工艺是由王守国;孙健;刘玮设计研发完成,并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冰刀表面减阻复合镀膜工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种冰刀表面减阻复合镀膜工艺,属于镀膜工艺技术领域,其包括在刀片基体的表面依次沉积Cr膜层、Cr‑WC膜层、WC膜层、DLC膜层和DLC‑Si膜层。本发明提供的冰刀表面减阻复合镀膜工艺,使冰刀表面性能达到膜层结合力大于30N,冰刀表面硬度大于1200HV,滑动摩擦系数小于0.1μ,表面疏水性要求的接触角在85℃以上,减少了在滑冰过程中冰刀与冰面的摩擦阻力,提高了滑冰速度。本发明为了实现冰刀表面镀膜后其材料整体内应力不改变,镀膜时在保证膜层质量的前提下,控制刀片基体的温度保持在80℃。
本发明授权一种冰刀表面减阻复合镀膜工艺在权利要求书中公布了:1.一种冰刀表面减阻复合镀膜工艺,其特征在于,在刀片基体的表面依次沉积Cr膜层、Cr-WC膜层、WC膜层、DLC膜层和DLC-Si膜层,各膜层的总厚度为2~2.5μm,表面接触角在85℃以上;膜层沉积步骤如下:1对刀片基体打磨抛光、超声清洗、丙酮清洗、无水乙醇清洗、烘干,使刀片基体表面清洁;其中,丙酮清洗15min,无水乙醇清洗15min;2将清洁好的刀片基体放置在真空镀膜设备内,将真空镀膜设备的本底真空度抽至1×10-3Pa,加热刀片基体使其温度保持在80℃;3对刀片基体进行等离子体清洗,工作气体为Ar和H2,Ar流量为250sccm,H2流量为50sccm,工作真空度为0.5Pa,基体偏压为900V,清洗时间为60min;4利用磁控溅射沉积Cr膜层打底:以Cr为靶材,工作气体为Ar,Ar的流量为150sccm,工作真空度为0.3Pa;5利用磁控溅射沉积Cr-WC膜层:同时以Cr和WC为靶材,工作气体为Ar,Ar流量为200sccm,工作真空度为0.5Pa,保持Cr靶溅射的状态下开启WC靶溅射,溅射时间为60-120min;6利用磁控溅射沉积WC膜层:关闭Cr靶溅射,只保留WC靶溅射,工作真空度为0.6Pa,基体偏压为80V,溅射时间为60-120min;7利用PECVD沉积DLC膜层:工作气体为C2H2,C2H2流量为230sccm,工作真空度为0.5Pa,基体偏压为800V,溅射时间为60-120min;8利用PECVD沉积DLC-Si膜层:工作气体为C2H2和C6H18Si2O,C2H2流量为230sccm,C6H18Si2O流量为100sccm,工作气压为0.5Pa,基体偏压为800V,溅射时间为60min。
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