恭喜中国科学院微电子研究所王珊获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院微电子研究所申请的专利一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115307579B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211029150.6,技术领域涉及:G01B11/26;该发明授权一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置是由王珊;张滋黎;孟繁昌;纪荣祎;王国名;崔成君;潘映伶;张佳;董登峰;周维虎设计研发完成,并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置在说明书摘要公布了:本公开提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置,包括:第一圆柱体检棒、第二圆柱体检棒以及投影图像测量仪;第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒分别设置于激光跟踪仪两侧的俯仰轴上;投影图像测量仪包括:发射器和接收器,第一圆柱体检棒设置于发射器及接收器之间;发射器用于发射LED光照射至第一圆柱体检棒上,接收器用于显示LED光被第一圆柱体检棒或第二圆柱体检棒部分遮挡后形成的光影,以得到第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置;根据第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置偏差及检测端面距离,得到激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差。本公开还提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测方法。
本发明授权一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置在权利要求书中公布了:1.一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置,其特征在于,包括:第一圆柱体检棒(5)、第二圆柱体检棒(6)及投影图像测量仪;其中,所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)分别设置于激光跟踪仪两侧的俯仰轴上;所述投影图像测量仪包括:发射器(10)和接收器(11),其中,所述第一圆柱体检棒(5)设置于所述发射器(10)及所述接收器(11)之间;其中,所述发射器(10)用于发射LED光照射至所述第一圆柱体检棒(5)上,所述接收器(11)用于显示所述LED光被所述第一圆柱体检棒(5)或所述第二圆柱体检棒(6)部分遮挡后形成的光影,以得到所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置;根据所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置偏差及检测端面距离,得到所述激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差;所述垂直度误差满足以下关系: 其中,表示激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差;A表示所述第一圆柱体检棒(5) 的中心轴线位置所对应的数值;B表示第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置所对应的数值; CD表示所述检测端面距离。
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