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龙图腾网恭喜长江存储科技有限责任公司申请的专利机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114021923B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111257230.2，技术领域涉及：G06Q10/0631；该发明授权机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统是由黄政逸;张誉泷;李涛;林超亮;夏梦设计研发完成，并于2021-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统，该方法包括：在第一预定时间内，检测目标机台分别对多个晶圆组进行加工时的各工序的消耗时间，得到多组加工时间，晶圆组为一个晶圆盒中的一个或者多个晶圆，一组加工时间包括一个晶圆组对应的各工序的加工时间；根据多组加工时间确定各工序的最短加工时间；计算各工序对应的多个加工时间分别与对应的最短加工时间的差值，得到多个第一差值，计算多个第一差值的平均值，得到第一平均超出时间，每组加工时间中包括一个与工序对应的加工时间；根据各工序的第一平均超出时间确定多个工序的改善顺序。该方法解决了现有技术中难以判断机台加工的各工序对工作效率影响程度的问题。

本发明授权机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统在权利要求书中公布了：1.一种机台工序的改善顺序的确定方法，其特征在于，包括：在第一预定时间内，检测目标机台分别对多个晶圆组进行加工时的各工序的消耗时间，得到多组加工时间，所述晶圆组为一个晶圆盒中的一个或者多个晶圆，一组所述加工时间包括一个所述晶圆组对应的各工序的加工时间；根据多组所述加工时间确定各所述工序的最短加工时间；计算各所述工序对应的多个所述加工时间分别与对应的所述最短加工时间的差值，得到多个第一差值，计算多个所述第一差值的平均值，得到第一平均超出时间，每组所述加工时间中包括一个与所述工序对应的所述加工时间；根据各所述工序的第一平均超出时间确定多个所述工序的改善顺序；在根据各所述工序的第一平均超出时间确定各所述工序的改善顺序之后，所述方法还包括：所述目标机台有多个，计算第一时间和第二时间的差值，得到效能差值，所述第一时间为第一目标机台的目标工序对应的所述第一平均超出时间，所述第二时间为第二目标机台的所述目标工序对应的所述第一平均超出时间；在所述效能差值大于预定值的情况下，提升所述目标工序在所述第一目标机台中所述改善顺序中的顺位，所述预定值大于0。

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