恭喜岭南大学校产学协力团;田中贵金属工业株式会社金秀贤获国家专利权
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龙图腾网恭喜岭南大学校产学协力团;田中贵金属工业株式会社申请的专利钌薄膜的形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116097403B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180058348.4，技术领域涉及：C23C16/18；该发明授权钌薄膜的形成方法是由金秀贤;小次洋平设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本钌薄膜的形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及利用钌前驱体形成钌薄膜的钌薄膜形成方法，包括以下阶段：以具有由下述化学式1表示的结构的三羰基η4‑亚甲基‑1,3‑丙二基钌Tricarbonylη4‑methylene‑1,3‑propanediylRutheniumCO3Ru‑TMM作为钌前驱体，利用该钌前驱体和反应气体，通过原子层蒸镀法在200～350℃范围的温度下形成钌薄膜。作为反应气体，优选应用选自由氧气、氢气、水、氨气组成的组中的一者以上。
本发明授权钌薄膜的形成方法在权利要求书中公布了：1.一种钌薄膜形成方法，其为利用钌前驱体形成钌薄膜的钌薄膜形成方法，特征在于，包括以下阶段：以具有由下述化学式1表示的结构的三羰基η4-亚甲基-1,3-丙二基钌Tricarbonylη4-methylene-1,3-propanediylRutheniumCO3Ru-TMM作为所述钌前驱体，利用所述钌前驱体和反应气体，通过原子层蒸镀法在200～350℃范围的温度下形成钌薄膜，[化学式1]
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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