恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司王智昊获国家专利权
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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种等离子体处理装置及其可伸缩密封部获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115424913B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110610144.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子体处理装置及其可伸缩密封部是由王智昊;吴磊设计研发完成，并于2021-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体处理装置及其可伸缩密封部在说明书摘要公布了：一种等离子体处理装置及其可伸缩密封部，可伸缩密封部设置在等离子体处理装置的射频回路中或射频回路附近，可伸缩密封部包含具有第一端部和第二端部的波纹管组件，在波纹管组件的上部和下部增加了隔离环以减弱纵向的射频耦合，在波纹管组件的内侧和外侧增加了金属套筒以屏蔽横向的射频耦合。本发明在保持了可伸缩密封部具有隔绝真空和可伸缩功能的基础上，有效地屏蔽了射频耦合，获得稳定的射频回路及刻蚀速率。
本发明授权一种等离子体处理装置及其可伸缩密封部在权利要求书中公布了：1.一种可伸缩密封部，其特征在于，所述可伸缩密封部设置在等离子体处理装置的射频回路中或射频回路附近，所述可伸缩密封部包含：波纹管组件，其包含第一端部和第二端部；套筒组件，其包含第一套筒和第二套筒，第一套筒靠近所述波纹管组件的第一端部设置，第二套筒靠近所述波纹管组件的第二端部设置；第一套筒和第二套筒的自由端相互重叠以在第一套筒和第二套筒相对滑动时形成射频屏蔽空间；所述波纹管组件位于所述射频屏蔽空间中；其中，所述套筒组件为导体；所述第一套筒和所述第二套筒之间设置绝缘缓冲层，所述绝缘缓冲层分别接触所述第一套筒和所述第二套筒，并保证所述第一套筒和所述第二套筒之间不接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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