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恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司段蛟获国家专利权

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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利等离子体处理装置和颗粒污染物的监测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115440557B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110609643.6,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权等离子体处理装置和颗粒污染物的监测方法是由段蛟;连增迪;杨桂林;郭盛设计研发完成,并于2021-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

等离子体处理装置和颗粒污染物的监测方法在说明书摘要公布了:一种等离子体处理装置及颗粒污染物的监测方法,其中,所述等离子体处理装置包括:反应腔,其内底部设置基座,所述基座用于承载晶圆,所述反应腔内具有颗粒污染物;第一发射器,用于向所述颗粒污染物处发射信息;第一接收器,用于接收来自于第一发射器在颗粒污染物处的散射信息以确定颗粒污染物的位置信息;第二发射器,根据所述第一接收器确定的颗粒污染物的位置信息,向颗粒污染物的位置处发射信息;第二接收器,用于接收来自于所述第二发射器在颗粒污染物处的散射信息以确定颗粒污染物的大小。所述等离子体处理装置能够对等离子体刻蚀过程中的颗粒污染情况进行实时监测。

本发明授权等离子体处理装置和颗粒污染物的监测方法在权利要求书中公布了:1.一种等离子体处理装置,其特征在于,包括:反应腔,其内底部设置基座,所述基座用于承载晶圆,所述反应腔内具有颗粒污染物;第一发射器,用于向所述颗粒污染物处发射信息;第一接收器,用于接收来自于第一发射器在颗粒污染物处的散射信息以确定颗粒污染物的位置信息;第二发射器,根据所述第一接收器确定的颗粒污染物的位置信息,向颗粒污染物的位置处发射信息;第二接收器,用于接收来自于所述第二发射器在颗粒污染物处的散射信息以确定颗粒污染物的大小;第一驱动机构,用于转动第一发射器;第二驱动机构,用于转动第一接收器;第三驱动机构,用于转动第二发射器;第四驱动机构,用于转动第二接收器;反馈机构,用于根据第一接收器确定的颗粒污染物的位置信息,向所述第三驱动机构和第四驱动机构下达命令,使所述第二发射器和第二接收器指向所述颗粒污染物的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司,其通讯地址为:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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