恭喜FEI公司B·斯特拉卡获国家专利权
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龙图腾网恭喜FEI公司申请的专利用于光束位置可视化的系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112309813B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010735960.8,技术领域涉及:H01J37/28;该发明授权用于光束位置可视化的系统和方法是由B·斯特拉卡;R·斯莫尔卡;L·克拉尔;J·斯卡利基设计研发完成,并于2020-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于光束位置可视化的系统和方法在说明书摘要公布了:用于光束位置可视化的系统和方法。通过确定对光束偏转器的第一光束偏转驱动,将带电粒子束(CPB)对准到CPB显微镜的主轴,用于引导所述CPB经过偏离所述主轴的参考位置。在所述CPB显微镜的工作模式期间,所述光束偏转器被提供第二光束偏转驱动,以沿所述主轴传播光束。所述第二光束偏转驱动是基于所述第一光束偏转驱动而确定的。
本发明授权用于光束位置可视化的系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于操作带电粒子束CPB显微镜的方法,其包含:向光束偏转器提供第一光束偏转驱动,以引导CPB经过偏离主轴的参考位置,其中,所述参考位置与CPB检测器相关联,并且第一光束偏转驱动将至少一部分CPB引导至所述CPB检测器上;和向所述光束偏转器提供第二光束偏转驱动,以沿主光束轴传播所述CPB,其中所述第二光束偏转驱动是基于第一光束偏转驱动值而确定的。
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