恭喜住友化学株式会社堀切文正获国家专利权
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龙图腾网恭喜住友化学株式会社申请的专利结构体的制造方法和制造装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114270478B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080056785.8，技术领域涉及：H01L21/3063；该发明授权结构体的制造方法和制造装置是由堀切文正;福原昇设计研发完成，并于2020-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本结构体的制造方法和制造装置在说明书摘要公布了：结构体的制造方法，具有对蚀刻对象物进行光电化学蚀刻的工序，该工序包括：向保持有至少表面由Ⅲ族氮化物构成的蚀刻对象物并能够旋转地进行保持的容器中，注入含接受电子的氧化剂的碱性或酸性的蚀刻液，使所述表面浸渍于所述蚀刻液中的工序；在所述蚀刻对象物和所述蚀刻液静止的状态下，对于被所述容器保持的所述蚀刻对象物的所述表面照射光的工序；对所述表面照射所述光后，使所述容器旋转而使所述蚀刻液飞散至外周侧，由此从所述容器排出所述蚀刻液的工序。
本发明授权结构体的制造方法和制造装置在权利要求书中公布了：1.一种结构体的制造方法，其中，具有对下述蚀刻对象物进行光电化学蚀刻的工序，该工序包括：向保持有至少表面由Ⅲ族氮化物构成的蚀刻对象物并能够旋转地进行保持的容器中，注入含接受电子的氧化剂的碱性或酸性的蚀刻液，使所述表面浸渍于所述蚀刻液中的工序；在所述蚀刻对象物和所述蚀刻液静止的状态下，对于被所述容器保持的所述蚀刻对象物的所述表面照射光的工序；对所述表面照射所述光后，使所述容器旋转而使所述蚀刻液飞散至外周侧，由此从所述容器排出所述蚀刻液的工序，所述容器的内侧面由上方朝向所述外周侧倾斜的面构成。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人住友化学株式会社，其通讯地址为：日本国东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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