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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利针对多重图案化工艺使用多区加热衬底支撑件的修整与沉积轮廓控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113678237B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080026510.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权针对多重图案化工艺使用多区加热衬底支撑件的修整与沉积轮廓控制是由拉梅什·钱德拉塞卡拉;迈克尔·菲利普·罗伯茨;普尔凯特·阿加瓦尔;阿德里安·拉沃伊;拉维·库马尔;杨诺亚;苏陈妙妙;阿施施·索拉卜设计研发完成，并于2020-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本针对多重图案化工艺使用多区加热衬底支撑件的修整与沉积轮廓控制在说明书摘要公布了：提供衬底处理系统，其包括衬底支撑件、存储器、校准模块、操作参数模块和求解模块。衬底支撑件支撑衬底并且包括温度控制元件。存储器存储用于所述温度控制元件的温度校准值和灵敏度校准值。校准模块在所述温度控制元件的校准期间执行：第一校准过程，其用于确定所述温度校准值，或第二校准过程，其用于确定所述灵敏度校准值。所述灵敏度校准值用于将修整量或将沉积量中的至少一者关联至温度变化。操作参数模块基于所述温度校准值和所述灵敏度校准值来确定用于所述温度控制元件的操作参数。求解模块在所述温度控制元件的所述校准后，基于所述操作参数而在修整步骤或沉积步骤中的至少一者期间控制所述温度控制元件的操作。

本发明授权针对多重图案化工艺使用多区加热衬底支撑件的修整与沉积轮廓控制在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其包括：衬底支撑件，其被配置成支撑第一衬底并且包括多个温度控制元件；存储器，其被配置成存储用于所述多个温度控制元件的温度校准值和灵敏度校准值；校准模块，其被配置成在所述多个温度控制元件的校准期间执行：第一校准过程，其用于确定所述温度校准值，所述第一校准过程包括：i基于所述多个温度控制元件中的一个在不同功率水平的测得的温度之间的差异，计算所述多个温度控制元件中的一个的系统响应，ii反转所述系统响应，和iii基于反转的系统响应，确定所述多个温度控制元件的所述温度校准值，以及第二校准过程，其用于确定所述灵敏度校准值，其中所述灵敏度校准值用于将修整量关联至温度变化或将沉积量关联至温度变化中的至少一者；操作参数模块，其被配置成基于所述温度校准值和所述灵敏度校准值来确定用于所述多个温度控制元件的多个操作参数；以及求解模块，其被配置成在所述多个温度控制元件的所述校准后，基于所述多个操作参数而在修整步骤或沉积步骤中的至少一者期间控制所述多个温度控制元件的操作。

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